Pelapisan SiC merupakan lapisan tipis pada suseptor melalui proses deposisi uap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan sejumlah keunggulan dibandingkan silikon, termasuk 10x kekuatan medan listrik kerusakan, 3x celah pita, yang memberikan bahan tersebut ketahanan suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, serta konduktivitas termal.
Semicorex memberikan layanan yang disesuaikan, membantu Anda berinovasi dengan komponen yang bertahan lebih lama, mengurangi waktu siklus, dan meningkatkan hasil.
Lapisan SiC memiliki beberapa keunggulan unik
Ketahanan Suhu Tinggi: Susceptor berlapis CVD SiC dapat menahan suhu tinggi hingga 1600°C tanpa mengalami degradasi termal yang signifikan.
Ketahanan Kimia: Lapisan silikon karbida memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap berbagai bahan kimia, termasuk asam, basa, dan pelarut organik.
Ketahanan Aus: Lapisan SiC memberikan ketahanan aus yang sangat baik pada material, sehingga cocok untuk aplikasi yang melibatkan keausan tinggi.
Konduktivitas Termal: Lapisan CVD SiC memberikan material dengan konduktivitas termal yang tinggi, sehingga cocok untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan perpindahan panas yang efisien.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Susceptor berlapis silikon karbida memberikan material dengan kekuatan dan kekakuan tinggi, sehingga cocok untuk aplikasi yang membutuhkan kekuatan mekanik tinggi.
Lapisan SiC digunakan dalam berbagai aplikasi
Manufaktur LED: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam proses pembuatan berbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV, dan LED UV dalam, karena konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap bahan kimia.
Komunikasi seluler: Susceptor berlapis CVD SiC adalah bagian penting dari HEMT untuk menyelesaikan proses epitaksi GaN-on-SiC.
Pemrosesan Semikonduktor: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk berbagai aplikasi, termasuk pemrosesan wafer dan pertumbuhan epitaksi.
Komponen grafit berlapis SiC
Dibuat dengan grafit Silicon Carbide Coating (SiC), pelapisan ini diterapkan dengan metode CVD pada tingkat tertentu grafit kepadatan tinggi, sehingga dapat beroperasi di tungku suhu tinggi dengan suhu lebih dari 3000 °C dalam atmosfer inert, 2200 °C dalam ruang hampa. .
Sifat khusus dan massa material yang rendah memungkinkan laju pemanasan yang cepat, distribusi suhu yang seragam, dan presisi pengendalian yang luar biasa.
Data material Lapisan SiC Semicorex
Properti khas |
Satuan |
Nilai-nilai |
Struktur |
|
Fase FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 lebih disukai |
Kepadatan massal |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Ekspansi termal 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ukuran Butir |
m |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Susceptor berlapis CVD SiC merupakan material komposit yang menggabungkan sifat susceptor dan silikon karbida. Bahan ini memiliki sifat unik, termasuk ketahanan terhadap suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, konduktivitas termal yang tinggi, serta kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Sifat-sifat ini menjadikannya bahan yang menarik untuk berbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemrosesan semikonduktor, pemrosesan kimia, perlakuan panas, pembuatan sel surya, dan pembuatan LED.
Semicorex Susceptor Disc adalah alat yang sangat diperlukan dalam Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD), yang dirancang khusus untuk mendukung dan memanaskan wafer semikonduktor selama proses kritis pengendapan lapisan epitaksi. Susceptor Disc berperan penting dalam pembuatan perangkat semikonduktor, yang mengutamakan pertumbuhan lapisan yang tepat. Komitmen Semicorex terhadap kualitas terdepan di pasar, dipadukan dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, memperkuat keinginan kami untuk menjalin kemitraan dalam memenuhi kebutuhan pengangkutan wafer semikonduktor Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Si kristal Tunggal Epitaxial merangkum puncak kehalusan, daya tahan, dan keandalan untuk aplikasi yang berkaitan dengan epitaksi grafit dan manipulasi wafer. Hal ini dibedakan berdasarkan kepadatan, planaritas, dan kemampuan manajemen termalnya, sehingga memposisikannya sebagai pilihan optimal untuk kondisi operasional yang ketat. Komitmen Semicorex terhadap kualitas terdepan di pasar, dipadukan dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, memperkuat keinginan kami untuk menjalin kemitraan dalam memenuhi kebutuhan pengangkutan wafer semikonduktor Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSusceptor Epi Silikon Kristal Tunggal adalah komponen penting yang dirancang untuk proses epitaksi Si-GaN, yang dapat disesuaikan dengan spesifikasi dan preferensi individual, memberikan solusi khusus yang selaras dengan kebutuhan spesifik. Baik itu memerlukan modifikasi dimensi atau penyesuaian ketebalan lapisan, kami memiliki kemampuan untuk merancang dan menghasilkan produk yang mengakomodasi beragam parameter proses, sehingga mengoptimalkan kinerja untuk aplikasi yang ditargetkan. Komitmen Semicorex terhadap kualitas terdepan di pasar, dipadukan dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, memperkuat keinginan kami untuk menjalin kemitraan dalam memenuhi kebutuhan pengangkutan wafer semikonduktor Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanDibuat dengan presisi dan dirancang untuk keandalan, SiC Epitaxy Susceptor memiliki ketahanan korosi yang tinggi, konduktivitas termal yang tinggi, ketahanan terhadap guncangan termal, dan stabilitas kimia yang tinggi, memungkinkannya berfungsi secara efektif dalam atmosfer epitaksi. Oleh karena itu, SiC Epitaxy Susceptor dianggap sebagai inti dan komponen penting dalam peralatan MOCVD. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Silicon Carbide Boat Holder adalah produk khusus yang dibuat dari bahan SiC, dirancang dengan cermat untuk aplikasi dalam industri seperti fotovoltaik, elektronik, dan semikonduktor. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Solar Graphite Boat, tempat wafer yang dirancang secara presisi untuk memenuhi tuntutan pemrosesan semikonduktor suhu tinggi. Dibuat dari grafit kelas premium, perahu inovatif ini menawarkan stabilitas dan daya tahan termal yang tak tertandingi, memastikan kinerja optimal bahkan di lingkungan tungku yang paling menuntut sekalipun. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan