Pelapisan SiC merupakan lapisan tipis pada suseptor melalui proses deposisi uap kimia (CVD). Bahan silikon karbida memberikan sejumlah keunggulan dibandingkan silikon, termasuk 10x kekuatan medan listrik kerusakan, 3x celah pita, yang memberikan bahan tersebut ketahanan suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, serta konduktivitas termal.
Semicorex memberikan layanan yang disesuaikan, membantu Anda berinovasi dengan komponen yang bertahan lebih lama, mengurangi waktu siklus, dan meningkatkan hasil.
Lapisan SiC memiliki beberapa keunggulan unik
Ketahanan Suhu Tinggi: Susceptor berlapis CVD SiC dapat menahan suhu tinggi hingga 1600°C tanpa mengalami degradasi termal yang signifikan.
Ketahanan Kimia: Lapisan silikon karbida memberikan ketahanan yang sangat baik terhadap berbagai bahan kimia, termasuk asam, basa, dan pelarut organik.
Ketahanan Aus: Lapisan SiC memberikan ketahanan aus yang sangat baik pada material, sehingga cocok untuk aplikasi yang melibatkan keausan tinggi.
Konduktivitas Termal: Lapisan CVD SiC memberikan material dengan konduktivitas termal yang tinggi, sehingga cocok untuk digunakan dalam aplikasi suhu tinggi yang memerlukan perpindahan panas yang efisien.
Kekuatan dan Kekakuan Tinggi: Susceptor berlapis silikon karbida memberikan material dengan kekuatan dan kekakuan tinggi, sehingga cocok untuk aplikasi yang membutuhkan kekuatan mekanik tinggi.
Lapisan SiC digunakan dalam berbagai aplikasi
Manufaktur LED: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam proses pembuatan berbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV, dan LED UV dalam, karena konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap bahan kimia.
Komunikasi seluler: Susceptor berlapis CVD SiC adalah bagian penting dari HEMT untuk menyelesaikan proses epitaksi GaN-on-SiC.
Pemrosesan Semikonduktor: Susceptor berlapis CVD SiC digunakan dalam industri semikonduktor untuk berbagai aplikasi, termasuk pemrosesan wafer dan pertumbuhan epitaksi.
Komponen grafit berlapis SiC
Dibuat dengan grafit Silicon Carbide Coating (SiC), pelapisan ini diterapkan dengan metode CVD pada tingkat tertentu grafit kepadatan tinggi, sehingga dapat beroperasi di tungku suhu tinggi dengan suhu lebih dari 3000 °C dalam atmosfer inert, 2200 °C dalam ruang hampa. .
Sifat khusus dan massa material yang rendah memungkinkan laju pemanasan yang cepat, distribusi suhu yang seragam, dan presisi pengendalian yang luar biasa.
Data material Lapisan SiC Semicorex
Properti khas |
Satuan |
Nilai-nilai |
Struktur |
|
Fase FCC β |
Orientasi |
Pecahan (%) |
111 lebih disukai |
Kepadatan massal |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Ekspansi termal 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ukuran Butir |
m |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan Susceptor berlapis CVD SiC merupakan material komposit yang menggabungkan sifat susceptor dan silikon karbida. Bahan ini memiliki sifat unik, termasuk ketahanan terhadap suhu dan bahan kimia yang tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, konduktivitas termal yang tinggi, serta kekuatan dan kekakuan yang tinggi. Sifat-sifat ini menjadikannya bahan yang menarik untuk berbagai aplikasi suhu tinggi, termasuk pemrosesan semikonduktor, pemrosesan kimia, perlakuan panas, pembuatan sel surya, dan pembuatan LED.
MOCVD Susceptors dari Semicorex melambangkan puncak keahlian, daya tahan, dan keandalan untuk epitaksi grafit yang rumit dan tugas penanganan wafer yang presisi. Susceptor ini terkenal dengan kepadatannya yang tinggi, kerataan yang luar biasa, dan kontrol termal yang unggul, menjadikannya pilihan utama untuk lingkungan manufaktur yang menuntut. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Susceptor MOCVD berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanPelat Semicorex untuk Pertumbuhan Epitaksi berdiri sebagai elemen penting yang dirancang khusus untuk memenuhi seluk-beluk proses epitaksi. Dapat disesuaikan untuk memenuhi spesifikasi dan preferensi yang berbeda, penawaran kami memberikan solusi yang dirancang secara individual yang sesuai dengan kebutuhan operasional unik Anda. Kami menawarkan berbagai opsi penyesuaian, mulai dari perubahan ukuran hingga variasi dalam aplikasi pelapisan, yang memperlengkapi kami untuk merekayasa dan memasok produk yang mampu meningkatkan kinerja di berbagai skenario aplikasi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Pelat berkinerja tinggi untuk Pertumbuhan Epitaxial yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Wafer Carrier untuk MOCVD, Dibuat untuk kebutuhan Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD) yang tepat, muncul sebagai alat yang sangat diperlukan dalam pemrosesan Si atau SiC kristal tunggal untuk sirkuit terpadu skala tinggi. Komposisi Wafer Carrier untuk MOCVD menawarkan kemurnian yang tak tertandingi, ketahanan terhadap suhu tinggi dan lingkungan korosif, serta sifat penyegelan yang unggul untuk menjaga atmosfer murni. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Wafer Carrier berkinerja tinggi untuk MOCVD yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSiC Boat Holder oleh Semicorex dibuat secara inovatif dari SiC, yang secara eksplisit dirancang untuk peran penting dalam sektor fotovoltaik, elektronik, dan semikonduktor. Direkayasa dengan presisi, Semicorex SiC Boat Holder menawarkan lingkungan yang protektif dan stabil untuk wafer melalui setiap tahap—baik itu pemrosesan, transit, atau penyimpanan. Desainnya yang cermat memastikan presisi dalam dimensi dan kerataan, yang penting untuk meminimalkan deformasi wafer dan memaksimalkan hasil operasional.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanCincin Panduan Semicorex SiC dirancang untuk mengoptimalkan proses pertumbuhan kristal tunggal. Konduktivitas termalnya yang luar biasa memastikan distribusi panas yang seragam, berkontribusi pada pembentukan kristal berkualitas tinggi dengan peningkatan kemurnian dan integritas struktural. Komitmen Semicorex terhadap kualitas terdepan di pasar, dipadukan dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, memperkuat keinginan kami untuk menjalin kemitraan dalam memenuhi kebutuhan pengangkutan wafer semikonduktor Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaanSemicorex Epi-SiC Susceptor, komponen yang dirancang dengan perhatian cermat terhadap detail, sangat diperlukan untuk fabrikasi semikonduktor mutakhir, terutama dalam aplikasi epitaksial. Desain Epi-SiC Susceptor, yang mewujudkan presisi dan inovasi, mendukung pengendapan epitaksi bahan semikonduktor pada wafer, memastikan efisiensi dan keandalan kinerja yang luar biasa. Komitmen Semicorex terhadap kualitas terdepan di pasar, dipadukan dengan pertimbangan fiskal yang kompetitif, memperkuat keinginan kami untuk menjalin kemitraan dalam memenuhi kebutuhan pengangkutan wafer semikonduktor Anda.
Baca selengkapnyamengirimkan permintaan