Cincin Segel berlapis TaC

Cincin Segel berlapis Semicorex TaC yang diterapkan pada komponen penyegelan memberikan keunggulan kinerja luar biasa dalam lingkungan fabrikasi semikonduktor yang menuntut. Pelapisan TaC mengatasi tantangan penting terkait ketahanan terhadap bahan kimia, suhu ekstrem, dan keausan mekanis, memungkinkan hasil proses yang lebih tinggi, peningkatan waktu kerja peralatan, dan pada akhirnya, menurunkan biaya produksi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok Cincin Segel berlapis TaC berkinerja tinggi yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.**

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Cincin Segel berlapis TaC Semicorex menunjukkan kelembaman yang luar biasa terhadap berbagai gas korosif dan bahan kimia yang digunakan dalam proses semikonduktor, termasuk kimia etsa plasma (misalnya, fluor, klor, brom), dopan (misalnya, boron, fosfor, arsenik), dan agresif agen pembersih. Kelambanan ini mencegah degradasi segel dan kontaminasi ruang proses yang sensitif.

Dan dengan titik leleh melebihi 3800°C, Cincin Segel berlapis TaC mempertahankan integritas struktural dan kekuatan mekanisnya pada suhu tinggi yang ditemui selama pemrosesan wafer. Hal ini memastikan kinerja penyegelan yang andal selama proses anil, deposisi, dan etsa suhu tinggi.

Kekerasan ekstrim dan koefisien gesekan rendah dari Cincin Segel berlapis TaC memberikan ketahanan luar biasa terhadap keausan, goresan, dan abrasi. Hal ini penting dalam aplikasi penyegelan dinamis di mana gerakan berulang atau kontak dengan wafer dan komponen lainnya dapat menyebabkan timbulnya partikel dan kegagalan segel.

Cincin Segel berlapis TaC menunjukkan laju pelepasan gas yang sangat rendah, bahkan pada suhu tinggi, sehingga ideal untuk aplikasi vakum tinggi. Hal ini memastikan kemurnian proses dan mencegah pengendapan kontaminan yang tidak diinginkan pada permukaan wafer sensitif.

Manfaat Khusus dalam Aplikasi Semikonduktor:

Masa Pakai Segel yang Diperpanjang:Cincin Segel berlapis TaC secara signifikan meningkatkan masa pakai segel dengan memberikan ketahanan unggul terhadap serangan bahan kimia, degradasi termal, dan keausan mekanis. Hal ini mengurangi frekuensi penggantian segel, meminimalkan waktu henti dan biaya pemeliharaan.

Peningkatan Hasil Proses dan Kualitas Wafer:Sifat lembam dari Cincin Segel berlapis TaC meminimalkan pembentukan partikel dan kontaminasi, sehingga menghasilkan hasil proses yang lebih tinggi dan kualitas wafer yang lebih baik. Hal ini penting untuk produksi perangkat semikonduktor berkinerja tinggi dengan toleransi cacat yang ketat.

Peningkatan Waktu Kerja dan Produktivitas Peralatan:Masa pakai seal yang lebih lama dan pengurangan kebutuhan perawatan berkontribusi pada peningkatan waktu kerja peralatan dan produktivitas secara keseluruhan. Hal ini penting untuk memaksimalkan output dan memenuhi permintaan manufaktur semikonduktor bervolume tinggi.