Pemegang kristal benih berlapis TaC adalah komponen berkinerja tinggi yang dirancang khusus untuk lingkungan pertumbuhan bahan semikonduktor. Sebagai produsen terkemuka pemegang kristal benih berlapis TTaC, semicorex menawarkan solusi komponen inti yang efisien di bidang manufaktur semikonduktor kelas atas.
Substrat daridilapisi TaCtempat kristal benih biasanya terbuat dari grafit, silikon karbida atau bahan komposit karbon/karbon, dan kemudian lapisan lapisan TaC diaplikasikan ke permukaannya melalui teknologi deposisi uap kimia (CVD) suhu ultra-tinggi yang canggih. Pemegang kristal benih berlapis TaC yang dibuat dengan metode ini memiliki ketahanan korosi yang sangat baik, kekuatan mekanik super, ketahanan suhu tinggi yang baik, dan konduktivitas termal yang efisien.
Fungsi pemegang kristal benih berlapis TaC
1. Fungsi pendukung
Pemegang kristal benih berlapis TaC dari Semicorex menyediakan platform dukungan yang stabil untuk kristal benih, menjamin kristal benih mempertahankan posisi tetap dalam kondisi yang menantang seperti suhu tinggi dan vakum tinggi. Hal ini secara efektif mencegah masalah seperti perpindahan kristal atau kerusakan akibat getaran dan aliran udara, sehingga menjamin kelangsungan dan stabilitas pertumbuhan kristal.
2. Efek Perlindungan
Tempat kristal benih berlapis TaC dipasang di atas tutup wadah grafit, dan mengisolasi tutup grafit dari uap Si bersuhu tinggi. Hal ini secara efektif menghindari korosi akibat uap dan memperpanjang umur tutup grafit. Selain itu, stabilitas kimia yang melekat dan ketahanan suhu termal pada lapisan TaC juga membantu mengurangi masuknya kotoran, menyediakan lingkungan yang stabil dan bersih untuk pertumbuhan kristal benih.
3. Kontrol suhu
Tempat kristal benih berlapis Semicorex TaC menggunakan teknik manufaktur yang terdepan dalam industri. Kontrol suhu yang tepat pada bidang termal dapat dicapai dengan mengoptimalkan bentuk, dimensi, dan ketebalan lapisan secara ahli. Hal ini sangat menurunkan tingkat kerusakan dan secara efisien mendorong pertumbuhan kristal yang seragam.