Suseptor Berlapis TaC

Semicorex TaC Coated Susceptor, terbuat dari bahan dasar grafit, dilapisi dengan tantalum karbida (TaC) untuk meningkatkan kinerja dan daya tahannya.

Tantalum karbida menawarkan stabilitas termal yang luar biasa, memungkinkan Susceptor Berlapis TaC tahan terhadap suhu sangat tinggi yang sering ditemui dalam proses seperti deposisi uap kimia (CVD) dan deposisi uap fisik (PVD). Dan lapisan TaC memberikan ketahanan yang unggul terhadap reaksi kimia, oksidasi, dan korosi, yang sangat penting untuk menjaga integritas dan kinerja di lingkungan kimia yang keras.

Sifat termal yang seragam dan stabil dari TaC Coated Susceptor meningkatkan konsistensi dan kualitas proses yang digunakan, sehingga menghasilkan hasil dan efisiensi yang lebih baik dalam pembuatan semikonduktor.

Sementara itu penggunaan TaC dari TaC Coated Susceptor meminimalkan risiko kontaminasi dalam proses semikonduktor, yang sangat penting untuk menghasilkan komponen elektronik dengan kemurnian tinggi dan bebas cacat.

Aplikasi Susceptor Dilapisi TaC:

Manufaktur Semikonduktor: Digunakan dalam proses CVD dan PVD untuk menyimpan film tipis dan lapisan epitaksi pada wafer semikonduktor.

Produksi LED: Digunakan dalam produksi dioda pemancar cahaya (LED) yang memerlukan kondisi termal yang tepat dan stabil.

Fabrikasi Sel Surya: Digunakan dalam pembuatan sel fotovoltaik untuk meningkatkan efisiensi dan keandalan.

Semicorex TaC Coated Susceptor sangat penting dalam proses manufaktur tingkat lanjut yang memerlukan stabilitas termal, ketahanan kimia, dan daya tahan yang tinggi. Penerapannya memastikan peningkatan kinerja, umur panjang, dan kualitas produk di industri teknologi tinggi.