Suseptor Wafer Berlapis TaC

Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor adalah komponen penting yang digunakan dalam tungku Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD) untuk pemrosesan epitaksi semikonduktor (epi). Susceptor bulat khusus ini dibuat dari bahan grafit berkualitas tinggi dan dilengkapi lapisan Tantalum Carbide (TaC) yang unik.

Tujuan utama pelapisan TaC adalah untuk meningkatkan kinerja dan daya tahan TaC Coated Wafer Susceptor selama kondisi proses fabrikasi semikonduktor yang menuntut. Tantalum Carbide dikenal karena kekerasannya yang luar biasa, titik leleh yang tinggi, dan ketahanan terhadap aus dan korosi. Sifat-sifat ini menjadikan TaC Coated Wafer Susceptor pilihan ideal untuk melindungi susceptor grafit yang mendasarinya dari reaksi kimia dan tekanan fisik yang terjadi di dalam tungku MOCVD.

Susceptor Wafer Berlapis TaC memainkan peran penting dalam pertumbuhan epitaksi bahan semikonduktor dengan memfasilitasi pengendapan film tipis pada wafer. Kemampuannya untuk menahan suhu tinggi dan lingkungan kimia yang keras sangat penting untuk mencapai manufaktur perangkat semikonduktor yang tepat dan andal.

Susceptor Wafer Berlapis TaC, dengan inti grafit dan lapisan Tantalum Carbide, memastikan distribusi panas yang konsisten dan seragam, berkontribusi terhadap reproduktifitas dan kualitas lapisan semikonduktor yang tumbuh selama proses MOCVD. Kombinasi material canggih ini menjadikannya solusi yang andal dan tahan lama untuk manufaktur semikonduktor, memenuhi persyaratan ketat produksi perangkat elektronik modern.