1x2" Penerima Wafer Grafit

Dalam fabrikasi wafer semikonduktor, lapisan epitaksi perlu ditumbuhkan pada substrat wafer untuk pembuatan perangkat semikonduktor selanjutnya. Karena proses pertumbuhan epitaksi sangat sensitif terhadap fluktuasi suhu dan kontaminasi, pemilihannya dapat diandalkanreseptor wafersangat penting. Sebagai bagian pendukung yang sangat diperlukan dalam proses epitaksi wafer, presisi pemesinan, kemampuan manajemen termal, dan kinerja ketahanan kontaminasi merupakan faktor penting dalam mencapai pertumbuhan epitaksi wafer berkualitas tinggi.

Fungsi suseptor wafer grafit Semicorex 1x2".

Terbuat dari butiran ultra-halus, grafit dengan kemurnian tinggi sebagai matriksnya dengan lapisan silikon karbida padat melalui proses khusus, susceptor wafer grafit Semicorex 1x2" memberikan fungsi berikut:

1. Penyimpanan yang aman dan basi

Semicorex 1x2"grafitsusceptor wafer memiliki fitur pemesinan dan perawatan yang presisi, menghasilkan kerataan permukaan dan akurasi dimensi yang luar biasa. Hal ini memastikan mereka terpasang dengan kuat pada posisi yang sesuai dan menyediakan platform dukungan yang stabil dan datar untuk pertumbuhan epitaksi wafer.

2. Distribusi Panas Seragam yang Presisi

Dengan konduktivitas termal yang sangat baik dari bahan grafit dan SiC, susceptor wafer grafit Semicorex 1x2" memberikan distribusi panas yang cepat dan seragam di seluruh bahan semikonduktor. Dengan meminimalkan gradien suhu, susceptor wafer grafit Semicorex 1x2" dapat secara efektif menghindari masalah seperti kualitas epitaksi yang tidak merata dan konsentrasi tegangan.

Keunggulan lapisan silikon karbida Semicorex

1. Ketahanan korosi yang unggul

Dilapisi dengan lapisan silikon karbida yang padat, suseptor wafer grafit Semicorex 1x2" secara efektif tahan terhadap sebagian besar bahan kimia, sehingga cocok untuk aplikasi dalam kondisi pengoperasian yang sangat korosif di mana bahan tersebut sering terkena gas korosif dan uap kimia.

2. Pelepasan partikel rendah

Semicorexlapisan silikon karbidamemiliki kekuatan ikatan yang tinggi dengan matriks grafit, yang secara signifikan dapat menghindari risiko kontaminasi substrat akibat terlepasnya lapisan akibat korosi dan jatuhnya partikel yang disebabkan oleh lingkungan dengan korosi tinggi.

3. Kehidupan pelayanan yang andal

Meskipun matriks grafit menunjukkan stabilitas termal dan kekuatan mekanik yang sangat baik, matriks grafit rentan terhadap korosi dan penghancuran dalam kondisi pengoperasian proses epitaksi, sehingga sangat memperpendek masa pakai matriks grafit yang tidak dilapisi. Dengan mengenkapsulasi sepenuhnya matriks grafit dengan lapisan SiC yang padat, susceptor wafer grafit 1×2" kami mencapai daya tahan yang unggul dan andal.

Data material Pelapisan Semicorex SiC