Susceptor Grafit Dilapisi SiC untuk MOCVD

Semicorex adalah produsen dan pemasok Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor skala besar di Cina. Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Susceptor Grafit Dilapisi SiC kami untuk MOCVD memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor untuk MOCVD adalah pembawa grafit berlapis Silicon Carbide dengan kemurnian tinggi, digunakan dalam proses untuk menumbuhkan lapisan epixial pada chip wafer. Ini adalah pelat tengah di MOCVD, berbentuk roda gigi atau cincin. SiC Coated Graphite Susceptor untuk MOCVD memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, yang memiliki stabilitas tinggi di lingkungan ekstrem.
Di Semicorex, kami berkomitmen untuk menyediakan produk dan layanan berkualitas tinggi kepada pelanggan kami. Kami hanya menggunakan bahan terbaik, dan produk kami dirancang untuk memenuhi standar kualitas dan kinerja tertinggi. Susceptor Grafit Dilapisi SiC kami untuk MOCVD tidak terkecuali. Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang bagaimana kami dapat membantu Anda dengan kebutuhan pemrosesan wafer semikonduktor Anda.

Parameter Susceptor Grafit Dilapisi SiC untuk MOCVD

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Grafit Dilapisi SiC untuk MOCVD

- Hindari pengelupasan dan pastikan lapisan di semua permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan pengendapan uap kimia CVD di bawah kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah kontaminasi atau difusi kotoran