> Produk > Dilapisi silikon karbida > Suseptor MOCVD > Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor untuk MOCVD

Produk

produk baru

Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor untuk MOCVD

Semicorex adalah pemasok terpercaya dan produsen susceptor grafit pelapis silikon karbida untuk MOCVD. Produk kami dirancang khusus untuk memenuhi kebutuhan industri semikonduktor dalam menumbuhkan lapisan epitaxial pada chip wafer. Produk ini digunakan sebagai pelat tengah pada MOCVD, dengan desain berbentuk roda gigi atau cincin. Ini memiliki ketahanan panas dan korosi yang tinggi, membuatnya ideal untuk digunakan di lingkungan yang ekstrim.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Susceptor grafit pelapis silikon karbida kami untuk MOCVD memiliki beberapa fitur utama yang membuatnya menonjol dari kompetisi. Ini memastikan lapisan pada semua permukaan, menghindari pengelupasan, dan memiliki ketahanan oksidasi suhu tinggi, memastikan stabilitas bahkan pada suhu tinggi hingga 1600°C. Produk ini dibuat dengan kemurnian tinggi melalui pengendapan uap kimia CVD dalam kondisi klorinasi suhu tinggi. Ini memiliki permukaan yang padat dengan partikel halus, membuatnya sangat tahan terhadap korosi dari reagen asam, alkali, garam, dan organik.
Susceptor grafit pelapis silikon karbida kami untuk MOCVD dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, memastikan kemerataan profil termal. Ini mencegah kontaminasi atau difusi kotoran, memastikan pertumbuhan epitaxial berkualitas tinggi pada chip wafer.

Parameter Susceptor Graphite Coating Silicon Carbide untuk MOCVD

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Silicon Carbide Coating Graphite Susceptor untuk MOCVD

- Hindari pengelupasan dan pastikan lapisan di semua permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan pengendapan uap kimia CVD di bawah kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah kontaminasi atau difusi kotoran