Perahu Wafer Batch

Semicorex menyediakan perahu wafer, tumpuan, dan pembawa wafer khusus untuk konfigurasi vertikal / kolom dan horizontal. Kami telah menjadi produsen dan pemasok film pelapis silikon karbida selama bertahun-tahun. Batch Wafer Boat kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex Batch Wafer Boat terbuat dari bahan keramik silikon karbida berkualitas tinggi untuk ketahanan kimia dan stabilitas termal yang unggul.
Batch Wafer Boat kami memiliki permukaan yang halus dan memberikan dukungan dan perlindungan wafer yang sangat baik selama pemrosesan. Lapisan SiC memastikan keseragaman dan stabilitas selama pemrosesan, melindungi wafer dari kontaminasi dan kerusakan. Dengan konduktivitas termal yang sangat baik dan kekuatan mekanik yang unggul, pemegang wafer kami memberikan hasil yang konsisten dan dapat diandalkan.
Tim ahli kami berkomitmen untuk memberikan kualitas dan layanan terbaik. Kami menawarkan desain khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik Anda, dan kapal wafer batch kami didukung oleh program jaminan kualitas kami.

Parameter Batch Wafer Boat

Properti Teknis
Indeks	Satuan	Nilai
nama material		Reaksi Sinter Silikon Karbida	Karbida Silikon Sintered Tanpa Tekanan	Karbida Silikon Rekristalisasi
Komposisi		RBSiC	SSIC	R-SiC
Kepadatan Massal	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan Lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Kekuatan Kompresif	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Knoop	2700	2800	/
Mematahkan Kegigihan	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Panas Spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum di udara	℃	1200	1500	1600
Modulus elastis	IPK	360	410	240

Perbedaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses sintering berbeda. RBSiC adalah untuk menginfiltrasi Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh penyusutan alami pada 2100 derajat.

2. SSiC memiliki permukaan yang lebih halus, kerapatan lebih tinggi, dan kekuatan lebih tinggi, untuk beberapa penyegelan dengan persyaratan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan lebih baik.

3. Waktu penggunaan yang berbeda di bawah PH dan suhu yang berbeda, SSiC lebih lama dari RBSiC

Fitur Batch Wafer Boat

- Kekuatan tinggi (kekerasan Mohs 9,5, kedua setelah berlian)
- Ketahanan korosi terhadap asam, alkali, garam dan pelarut organik
- Konduktivitas termal yang tinggi, ketahanan plasma, umur panjang
- Semikonduktor