Cincin Fokus Keramik untuk Semikonduktor

Keramik semicorexcincin fokuss untuk semikonduktor adalah solusi ideal yang disesuaikan untuk kondisi pengoperasian etsa plasma yang keras. Selama proses etsa semikonduktor yang canggih, sangat penting untuk mengontrol distribusi plasma secara tepat, yang dapat memastikan stabilitas ruang etsa dan keseragaman etsa semikonduktor yang konsisten. Sebagai komponen penting yang digunakan dalam peralatan etsa canggih, cincin fokus biasanya ditempatkan di sekitar wafer semikonduktor dan bersentuhan langsung dengannya. Kinerja cincin fokus memberikan dampak langsung pada pengulangan proses, hasil produk, dan waktu operasional peralatan.

Keuntungan cincin fokus keramik Semicorex untuk semikonduktor

1. Kemurnian bahan sangat tinggi

Kemurnian kitaCVD SiCbahan melebihi 99,9995%. Hal ini secara efektif dapat mencegah kontaminasi ruang etsa dan wafer semikonduktor yang disebabkan oleh kemurnian bahan yang tidak mencukupi.

2. Ketahanan korosi yang luar biasa

Cincin fokus keramik semicorex untuk semikonduktor terbuat dari CVD SiC, yang memiliki ketahanan yang sangat baik terhadap oksidasi, erosi, dan korosi kimia, terutama efektif terhadap gas proses seperti HF dan HCI, serta gas plasma.

3. Kinerja ketahanan yang unggul

Keseragaman ketahanan cincin fokus keramik Semicorex untuk semikonduktor kurang dari 5%.

Kisaran resistivitas: Resolusi Rendah. (<0,02 Ω·cm), Resolusi Tengah. (0,2–25 Ω·cm), Resolusi Tinggi. (>100 Ω·cm).

Fungsi cincin fokus keramik Semicorex untuk semikonduktor

1. Mengontrol dan menyeragamkan medan listrik tepi dan distribusi plasma

Cincin fokus keramik semicorex untuk semikonduktor dapat mengontrol distribusi medan listrik di dalam ruang etsa dan mencapai selubung plasma yang lebih seragam di sekitar wafer semikonduktor, memungkinkan plasma mengenai permukaan wafer secara vertikal dan seragam. Dengan cara ini, efek tepi etsa dapat sangat dikurangi dan presisi etsa dapat ditingkatkan secara signifikan.

2. Lindungi chuck elektrostatis

Tanpa perlindungan cincin fokus dalam proses etsa, chuck elektrostatis akan terkena pemboman dan erosi plasma berenergi tinggi. Chuck elektrostatik terbuat dari bahan berbiaya tinggi dengan biaya penggantian yang sangat tinggi. Menggunakan cincin fokus dapat secara efektif menurunkan korosi plasma pada pencekam elektrostatis dan meminimalkan biaya pemeliharaan dan penggantian pencekam elektrostatis.