Semicorex menyediakan perahu wafer, alas, dan pembawa wafer khusus untuk konfigurasi vertikal/kolom dan horizontal. Kami telah menjadi produsen dan pemasok film pelapis silikon karbida selama bertahun-tahun. Perahu Wafer Keramik kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Memperkenalkan Perahu Wafer Keramik silikon karbida berkualitas tinggi, dirancang untuk memberikan solusi andal untuk pemrosesan wafer di berbagai industri. Alas keramik ini diproduksi menggunakan keramik dengan kemurnian tinggi, yang menawarkan ketahanan yang sangat baik terhadap guncangan termal, abrasi, dan korosi kimia, menjadikannya ideal untuk lingkungan pemrosesan wafer yang keras.
Perahu Wafer Keramik kami juga sangat disesuaikan, dan kami dapat bekerja sama dengan Anda untuk membuat alas khusus untuk memenuhi spesifikasi unik Anda. Kami bangga dengan kemampuan kami untuk memberikan produk berkualitas tinggi dan andal yang memenuhi permintaan pelanggan kami. Perahu Wafer Keramik kami dibuat agar tahan lama dan menawarkan masa pakai yang lama, memastikan Anda mendapatkan nilai maksimal dari investasi Anda.
Pesan sekarang dan rasakan manfaat Perahu Wafer Keramik berkualitas tinggi kami dalam operasi pemrosesan wafer Anda.
Parameter Perahu Wafer Keramik
Properti Teknis |
||||
Indeks |
Satuan |
Nilai |
||
Nama Bahan |
Reaksi Silikon Karbida Sinter |
Silikon Karbida Sinter Tanpa Tekanan |
Silikon Karbida yang Dikristalisasi Ulang |
|
Komposisi |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Kepadatan Massal |
gram/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Kekuatan Lentur |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Kekuatan Tekan |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Kekerasan |
Tombol |
2700 |
2800 |
/ |
Melanggar Kegigihan |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Konduktivitas Termal |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koefisien Ekspansi Termal |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Panas Spesifik |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Suhu maksimum di udara |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulus Elastis |
IPK |
360 |
410 |
240 |
Perbedaan antara SSiC dan RBSiC:
1. Proses sintering berbeda. RBSiC adalah menyusupkan Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh penyusutan alami pada 2100 derajat.
2. SSiC memiliki permukaan yang lebih halus, kepadatan lebih tinggi, dan kekuatan lebih tinggi, untuk beberapa penyegelan dengan persyaratan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan lebih baik.
3. Waktu penggunaan yang berbeda pada PH dan suhu yang berbeda, SSiC lebih panjang dari RBSiC
Fitur Perahu Wafer Keramik
Dibuat menggunakan keramik alumina dengan kemurnian tinggi untuk ketahanan yang sangat baik terhadap guncangan termal, abrasi, dan korosi kimia
Dirancang untuk dukungan dan stabilitas optimal selama pemrosesan wafer, meminimalkan risiko kerusakan atau kontaminasi
Tersedia dalam berbagai ukuran untuk mengakomodasi diameter dan ketebalan wafer yang berbeda
Dapat disesuaikan untuk memenuhi spesifikasi unik
Dibangun agar tahan lama dan menawarkan masa pakai yang lama