Pembawa Wafer Keramik

Semicorex menyediakan keramik tingkat semikonduktor untuk peralatan semi fabrikasi OEM dan komponen penanganan wafer yang berfokus pada lapisan silikon karbida di industri semikonduktor. Kami telah menjadi produsen dan pemasok Pembawa Wafer Keramik selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Pembawa Wafer Keramik Silikon Karbida memiliki ketahanan yang baik terhadap korosi dan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan guncangan termal. Modulus elastisitas yang tinggi selanjutnya menghasilkan stabilitas dimensi yang sangat baik. Selain itu, terdapat porositas nol dan kepadatan pori yang rendah pada bahan keramik.
Kami dapat memproses semua jenis Pembawa Wafer Keramik sesuai kebutuhan pelanggan.

Parameter Pembawa Wafer Keramik

Properti Teknis
Indeks	Satuan	Nilai
Nama Bahan		Reaksi Silikon Karbida Sinter	Silikon Karbida Sinter Tanpa Tekanan	Silikon Karbida yang Dikristalisasi Ulang
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Kepadatan Massal	gram/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan Lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Kekuatan Tekan	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Tombol	2700	2800	/
Melanggar Kegigihan	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas Termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Panas Spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimum di udara	℃	1200	1500	1600
Modulus Elastis	IPK	360	410	240

Semicorex memproduksi Ceramic Wafer Carrier dalam tiga bentuk, Silikon karbida sinter reaksi (RBSiC), silikon karbida sinter tanpa tekanan (SSiC) dan silikon karbida Recrystal (R-SiC).

Perbedaan antara SSiC dan RBSiC:

1. Proses sintering berbeda. RBSiC adalah menyusupkan Si bebas ke dalam silikon karbida pada suhu rendah, SSiC dibentuk oleh penyusutan alami pada 2100 derajat.

2. SSiC memiliki permukaan yang lebih halus, kepadatan lebih tinggi, dan kekuatan lebih tinggi, untuk beberapa penyegelan dengan persyaratan permukaan yang lebih ketat, SSiC akan lebih baik.

3. Waktu penggunaan yang berbeda pada PH dan suhu yang berbeda, SSiC lebih panjang dari RBSiC

Fitur Pembawa Wafer Keramik

Grafit berlapis SiC dengan kemurnian tinggi
Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
Kristal SiC halus dilapisi untuk permukaan halus
Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan didesain sedemikian rupa agar tidak terjadi keretakan dan delaminasi.

Bentuk keramik silikon karbida yang tersedia：

● Batang keramik / pin keramik / pendorong keramik

● Tabung keramik / bushing keramik / selongsong keramik

● Cincin keramik / mesin cuci keramik / spacer keramik

● Cakram keramik

● Piring keramik/blok keramik

● Bola keramik

● Piston keramik

● Nosel keramik

● Wadah keramik

● Bagian keramik khusus lainnya