Dayung Kantilever SiC Kustom

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle berfungsi sebagai penghubung penting antara sistem pemuatan wafer dan jantung tungku difusi, yang bertanggung jawab untuk mengangkut kapal wafer kuarsa atau SiC yang sarat dengan wafer silikon ke zona pemrosesan suhu tinggi. Desain dan sifat materialnya dioptimalkan secara cermat untuk tugas berat ini:

Struktur Kantilever yang Kuat untuk Pengangkutan Wafer yang Stabil:Desain kantilever, ditandai dengan lengan kaku yang memanjang ke dalam tungku, memberikan stabilitas luar biasa dan kontrol presisi terhadap pergerakan wafer. Hal ini memastikan pengangkutan lancar dan bebas getaran, meminimalkan risiko pecah atau ketidaksejajaran wafer selama bongkar muat.

Kapasitas Beban Tinggi untuk Pemrosesan Batch yang Efisien:Kekuatan dan kekakuan yang melekat pada keramik SiC memungkinkan Custom SiC Cantilever Paddle mengakomodasi wafer silikon dalam jumlah besar, memaksimalkan keluaran setiap siklus difusi dan berkontribusi pada volume produksi yang lebih tinggi.

Kontrol Dimensi yang Tepat untuk Integrasi yang Mulus: Paddle Kantilever SiC Kustom dibuat dengan cermat sesuai spesifikasi dimensi yang presisi, memastikan kesesuaian sempurna dalam sistem tungku difusi dan memfasilitasi integrasi tanpa hambatan dengan robot penanganan wafer otomatis.

Pemilihan keramik SiC khususnyaSilikon Karbida Berikat Reaksi (RBSiC)DanSilikon Karbida Sinter (SSiC), karena bahan pilihan untuk Paddle Kantilever SiC Kustom berasal dari karakteristik kinerjanya yang luar biasa di lingkungan bersuhu tinggi:

Stabilitas Suhu Tinggi yang Tak Tergoyahkan: Paddle Kantilever SiC Kustom menunjukkan ketahanan luar biasa terhadap deformasi dan mulur bahkan pada suhu tinggi (hingga 1600°C) yang ditemui dalam tungku difusi. Hal ini memastikan dukungan wafer yang konsisten dan mencegah kendur atau bengkok yang dapat mengganggu keseragaman wafer.

Ketahanan Guncangan Termal yang Luar Biasa:Kemampuan untuk menahan transisi suhu yang cepat tanpa kerusakan sangat penting untuk menjaga integritas Custom SiC Cantilever Paddle selama siklus difusi yang tak terhitung jumlahnya. Keramik SiC unggul dalam hal ini, meminimalkan risiko retak atau patah yang dapat menyebabkan waktu henti yang mahal.

Ekspansi Termal Rendah untuk Penyelarasan yang Tepat:Ekspansi termal minimal pada keramik SiC memastikan bahwa Custom SiC Cantilever Paddle mempertahankan stabilitas dimensinya pada rentang suhu luas yang dialami selama pengoperasian. Hal ini penting untuk menjaga keselarasan wafer yang tepat di dalam tungku, memastikan pemanasan seragam dan profil difusi yang konsisten.