Susceptor Grafit Dilapisi SiC CVD

Semicorex CVD SiC Coated Graphite Susceptor, adalah alat khusus yang digunakan dalam penanganan dan pemrosesan wafer semikonduktor. Susceptor memainkan peran penting dalam memfasilitasi pertumbuhan film tipis, lapisan epitaksi, dan pelapis lainnya pada substrat dengan kontrol yang tepat terhadap suhu dan sifat material. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Susceptor grafit berlapis CVD SiC adalah komponen yang dirancang dengan cermat yang dirancang untuk menciptakan lingkungan termal optimal untuk pengendapan film tipis dan pelapis yang terkontrol pada wafer semikonduktor atau bahan substrat lainnya. Ini adalah elemen penting dalam reaktor CVD, yang berfungsi sebagai sumber panas dan platform untuk menahan dan memposisikan substrat selama proses pengendapan.

Keuntungan:

Deposisi yang Tepat: Susceptor grafit berlapis SiC CVD memungkinkan deposisi film tipis dan pelapis yang terkontrol dan tepat, sehingga menghasilkan hasil berkualitas tinggi dan dapat direproduksi.

Mengurangi Kontaminasi: Lapisan SiC meminimalkan risiko kontaminasi dari susceptor itu sendiri, memastikan kemurnian bahan yang disimpan.

Umur Panjang dan Daya Tahan: Lapisan SiC meningkatkan ketahanan susceptor terhadap oksidasi dan reaksi kimia, sehingga berkontribusi terhadap umur panjang dan keandalannya dalam penggunaan jangka panjang.