Cincin fokus tahan lama Semicorex untuk pemrosesan semikonduktor dirancang untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem ruang etsa plasma yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Cincin fokus kami terbuat dari grafit dengan kemurnian tinggi yang dilapisi dengan lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Lapisan SiC memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi, serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami menerapkan SiC dalam lapisan tipis pada grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD) untuk meningkatkan masa pakai cincin fokus kami.
Cincin fokus kami yang tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor dirancang untuk meningkatkan keseragaman etsa di sekitar tepi atau perimeter wafer, meminimalkan kontaminasi dan pemeliharaan yang tidak terjadwal. Mereka sangat stabil untuk anil termal cepat (RTA), pemrosesan termal cepat (RTP), dan pembersihan bahan kimia yang keras.
Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan cincin fokus tahan lama berkualitas tinggi dan hemat biaya untuk pemrosesan semikonduktor, kami memprioritaskan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang cincin fokus kami yang tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor.
Parameter Cincin fokus tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur kristal |
FCC β fase |
|
Kepadatan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 titik) |
415 |
Modulus Muda |
Gpa (tikungan 4pt, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Cincin fokus yang tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor
â Lapisan grafit dan SiC dengan kemurnian tinggi untuk ketahanan lubang jarum dan masa pakai yang lebih lama.
â Substrat grafit dan lapisan SiC memiliki konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
â Lapisan SiC diterapkan dalam lapisan tipis untuk meningkatkan masa pakai.