Rumah > Produk > Komponen Semikonduktor > Cincin Fokus > Cincin Fokus Tahan Lama untuk Pemrosesan Semikonduktor
Cincin Fokus Tahan Lama untuk Pemrosesan Semikonduktor

Cincin Fokus Tahan Lama untuk Pemrosesan Semikonduktor

Cincin fokus tahan lama Semicorex untuk pemrosesan semikonduktor dirancang untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem ruang etsa plasma yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Cincin fokus kami terbuat dari grafit dengan kemurnian tinggi yang dilapisi dengan lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Lapisan SiC memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi, serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami menerapkan SiC dalam lapisan tipis pada grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD) untuk meningkatkan masa pakai cincin fokus kami.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Cincin fokus kami yang tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor dirancang untuk meningkatkan keseragaman etsa di sekitar tepi atau perimeter wafer, meminimalkan kontaminasi dan pemeliharaan yang tidak terjadwal. Mereka sangat stabil untuk anil termal cepat (RTA), pemrosesan termal cepat (RTP), dan pembersihan bahan kimia yang keras.

Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan cincin fokus tahan lama berkualitas tinggi dan hemat biaya untuk pemrosesan semikonduktor, kami memprioritaskan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang cincin fokus kami yang tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor.


Parameter Cincin fokus tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC

Properti SiC-CVD

Struktur kristal

FCC β fase

Kepadatan

g/cm³

3.21

Kekerasan

kekerasan Vickers

2500

Ukuran butir

μm

2~10

Kemurnian Kimia

%

99.99995

Kapasitas Panas

J·kg-1 ·K-1

640

Suhu Sublimasi

2700

Kekuatan Feleksural

MPa (RT 4 titik)

415

Modulus Muda

Gpa (tikungan 4pt, 1300â)

430

Ekspansi Termal (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Konduktivitas termal

(W/mK)

300


Fitur Cincin fokus yang tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor

â Lapisan grafit dan SiC dengan kemurnian tinggi untuk ketahanan lubang jarum dan masa pakai yang lebih lama.

â Substrat grafit dan lapisan SiC memiliki konduktivitas termal yang tinggi dan sifat distribusi panas yang sangat baik.

â Lapisan SiC diterapkan dalam lapisan tipis untuk meningkatkan masa pakai.



Tag Panas: Cincin Fokus Tahan Lama untuk Pemrosesan Semikonduktor, Cina, Produsen, Pemasok, Pabrik, Disesuaikan, Massal, Canggih, Tahan Lama

Kategori Terkait

mengirimkan permintaan

Jangan ragu untuk memberikan pertanyaan Anda dalam formulir di bawah ini. Kami akan membalas Anda dalam 24 jam.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept