> Produk > Keramik > Silikon Karbida (SiC) > Cincin Fokus Tahan Lama untuk Pemrosesan Semikonduktor

Produk

produk baru

Cincin Fokus Tahan Lama untuk Pemrosesan Semikonduktor

Cincin fokus semicorex yang tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor dirancang untuk tahan terhadap lingkungan ekstrem ruang etsa plasma yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Cincin fokus kami terbuat dari grafit kemurnian tinggi yang dilapisi dengan lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Lapisan SiC memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi, serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami mengaplikasikan SiC dalam lapisan tipis pada grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD) untuk meningkatkan masa pakai cincin fokus kami.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Cincin fokus kami yang tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor dirancang untuk meningkatkan keseragaman etsa di sekitar tepi atau perimeter wafer, meminimalkan kontaminasi dan pemeliharaan tidak terjadwal. Mereka sangat stabil untuk anil termal cepat (RTA), pemrosesan termal cepat (RTP), dan pembersihan bahan kimia keras.

Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan cincin fokus tahan lama berkualitas tinggi dan hemat biaya untuk pemrosesan semikonduktor, kami memprioritaskan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang cincin fokus tahan lama kami untuk pemrosesan semikonduktor.

Parameter cincin fokus tahan lama untuk pemrosesan semikonduktor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300