Semicorex End Effector untuk Penanganan Wafer memiliki dimensi yang presisi dan stabil secara termal untuk pemrosesan wafer. Kami telah menjadi produsen dan pemasok elemen pelapis silikon karbida selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Semicorex End Effector untuk Penanganan Wafer memiliki dimensi yang presisi dan stabil secara termal, sekaligus memiliki film pelapis CVD SiC yang halus dan tahan abrasi untuk menangani wafer dengan aman tanpa merusak perangkat atau menghasilkan kontaminasi partikulat, yang dapat memindahkan wafer semikonduktor antar posisi dalam peralatan pemrosesan wafer dan pembawa secara tepat dan efisien. Lapisan silikon karbida (SiC) kemurnian tinggi kami End Effector untuk Penanganan Wafer memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, dan ketahanan kimia yang tahan lama.
Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. End Effector untuk Penanganan Wafer kami memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk dengan kualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Parameter Efektor Akhir untuk Penanganan Wafer
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kepadatan |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran Butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ekspansi Termal (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Efektor Akhir untuk Penanganan Wafer
Pelapisan SiC dengan kemurnian tinggi menggunakan metode CVD
Ketahanan panas yang unggul & keseragaman termal
Kristal SiC halus dilapisi untuk permukaan halus
Daya tahan tinggi terhadap pembersihan kimia
Bahan didesain sedemikian rupa agar tidak terjadi keretakan dan delaminasi.