> Produk > Keramik > Silikon Karbida (SiC) > Cincin Saluran Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor

Produk

produk baru

Cincin Saluran Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor

Semicorex adalah produsen dan pemasok Susceptor Grafit Berlapis Silikon Karbida berskala besar di Tiongkok. Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Cincin Saluran Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Cincin Saluran Masuk Gas Semicorex untuk Peralatan Semikonduktor dilapisi SiC, yang merupakan lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Ini memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami mengaplikasikan SiC dalam lapisan tipis pada grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD).

Cincin Saluran Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor kami dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, memastikan kemerataan profil termal. Hal ini membantu mencegah kontaminasi atau penyebaran kotoran, memastikan pertumbuhan epitaksi berkualitas tinggi pada chip wafer.

Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Cincin Saluran Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor.

Parameter Cincin Saluran Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300