Cincin Saluran Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor

Semicorex adalah produsen dan pemasok Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor skala besar di Cina. Kami fokus pada industri semikonduktor seperti lapisan silikon karbida dan semikonduktor epitaksi. Gas Inlet Ring untuk Peralatan Semikonduktor kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Cincin Saluran Masuk Gas Semicorex untuk Peralatan Semikonduktor Dilapisi SiC, yang merupakan lapisan silikon karbida (SiC) yang padat dan tahan aus. Ini memiliki sifat tahan korosi dan panas yang tinggi serta konduktivitas termal yang sangat baik. Kami menerapkan SiC dalam lapisan tipis ke grafit menggunakan proses deposisi uap kimia (CVD).

Gas Inlet Ring untuk Peralatan Semikonduktor kami dirancang untuk mencapai pola aliran gas laminar terbaik, memastikan kemerataan profil termal. Ini membantu mencegah kontaminasi atau difusi pengotor, memastikan pertumbuhan epitaxial berkualitas tinggi pada chip wafer.

Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Gas Inlet Ring untuk Peralatan Semikonduktor.

Parameter Cincin Saluran Masuk Gas untuk Peralatan Semikonduktor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300