Perahu Silikon Karbida Horisontal

Semikoreks mendatarperahu silikon karbidadibentuk secara integral menggunakan teknologi pencetakan 3D dan kemudian dibuat melalui sintering suhu tinggi. Dibuat khusus agar sesuai dengan beragam ukuran tungku horizontal suhu tinggi, komponen ini diterapkan secara luas untuk mengamankan retensi wafer dalam proses manufaktur semikonduktor suhu tinggi yang penting, termasuk difusi, oksidasi, dan pengendapan uap kimia.

Sifat Fisikokimia Silikon Karbida

Keunggulan perahu silikon karbida horizontal Semicorexs

1. Dukungan dan Posisi Stabil

Kekuatan dan kekerasan material yang tak tertandingi memberi perahu silikon karbida horizontal Semicorex kapasitas pendukung yang sangat baik, yang memungkinkannya membawa banyak wafer secara bersamaan dengan stabil. Melalui pemesinan slot presisi, perahu silikon karbida horizontal Semicorex dapat memasang dan menahan wafer semikonduktor dengan kuat. Struktur slot dengan jarak yang sama memastikan bahwa wafer mempertahankan posisi tetap sepanjang seluruh siklus pemrosesan, sehingga menjamin konsistensi dan presisi proses manufaktur semikonduktor.

2.Kompatibilitas dengan kondisi Pengoperasian yang Kompleks

Berkat ketahanan suhu tinggi dan ketahanan korosi yang unggul, perahu silikon karbida horizontal Semicorex mampu bertahan di lingkungan pengoperasian yang ketat, seperti atmosfer oksigen, nitrogen, atau hidrogen klorida konsentrasi rendah bersuhu tinggi. Sifat material yang luar biasa ini dapat secara efektif mencegah korosi dan kerusakan yang disebabkan oleh gas korosif bersuhu tinggi, sehingga memperpanjang umur operasional kapal.

3. Kinerja Kebersihan Luar Biasa

Berbeda dari perahu grafit berlapis silikon karbida konvensional, perahu silikon karbida horizontal Semicorex dibuat dari bahan semikonduktor dengan kemurnian tinggi.silikon karbida(99,999%) dengan kandungan pengotor sangat rendah. Pemilihan material premium ini menghilangkan risiko pelepasan gas kontaminan atau pengelupasan lapisan, bahkan saat terkena lingkungan bersuhu tinggi dan korosif yang keras. Selain itu, setiap perahu silikon karbida kami menjalani proses pembersihan ultrasonik yang ketat sebelum pengemasan vakum, yang menjamin kepatuhan terhadap standar kebersihan yang disyaratkan oleh proses manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.