Baki Etsa Plasma ICP Semicorex dirancang khusus untuk proses penanganan wafer suhu tinggi seperti epitaksi dan MOCVD. Dengan ketahanan oksidasi suhu tinggi yang stabil hingga 1600°C, carrier kami bahkan menyediakan profil termal, pola aliran gas laminar, dan mencegah kontaminasi atau difusi kotoran.
Baki etsa plasma ICP kami dilapisi silikon karbida menggunakan metode CVD, yang merupakan solusi ideal untuk proses penanganan wafer yang memerlukan pembersihan bahan kimia bersuhu tinggi dan keras. Pembawa Semicorex menampilkan lapisan kristal SiC halus yang memberikan profil termal yang merata, pola aliran gas laminar, dan mencegah kontaminasi atau difusi kotoran.
Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dan hemat biaya kepada pelanggan kami. Baki etsa plasma ICP kami memiliki keunggulan harga dan diekspor ke banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami bertujuan untuk menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas yang konsisten dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang ICP Plasma Etching Tray kami.
Parameter Baki Etsa Plasma ICP
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur kristal |
FCC β fase |
|
Kepadatan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran butir |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Feleksural |
MPa (RT 4 titik) |
415 |
Modulus Muda |
Gpa (tikungan 4pt, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Baki Etsa Plasma ICP
- Hindari pengelupasan dan pastikan lapisan di semua permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan pengendapan uap kimia CVD di bawah kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah kontaminasi atau difusi kotoran