Cincin Saluran Masuk MOCVD

Semicorex adalah produsen dan pemasok Silicon Carbide Coated Graphite skala besar di Cina. Cincin Inlet MOCVD kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Semicorex memasok MOCVD Inlet Rings yang digunakan dalam pemrosesan deposisi dan wafer, yang sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras. MOCVD Inlet Rings kami memiliki konstruksi grafit berlapis silikon karbida (SiC) kemurnian tinggi, yang memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, dan ketahanan kimia yang tahan lama. Lapisan kristal SiC halus memberikan permukaan yang bersih dan halus, penting untuk penanganan karena wafer murni menghubungi susceptor di banyak titik di seluruh area mereka.

Di Semicorex, kami fokus untuk menyediakan Cincin Inlet MOCVD berkualitas tinggi dan hemat biaya, kami memprioritaskan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.

Parameter Cincin Inlet MOCVD

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300