Semicorex adalah produsen dan pemasok Silicon Carbide Coated Graphite berskala besar di Tiongkok. Cincin Saluran Masuk MOCVD kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.
Semicorex memasok Cincin Saluran Masuk MOCVD yang digunakan dalam deposisi dan pemrosesan wafer, yang sangat stabil untuk RTA, RTP, atau pembersihan bahan kimia keras. Cincin Saluran Masuk MOCVD kami memiliki konstruksi grafit berlapis silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi, yang memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, serta ketahanan kimia yang tahan lama. Lapisan kristal SiC yang halus memberikan permukaan yang bersih dan halus, penting untuk penanganan karena wafer murni bersentuhan dengan susceptor di banyak titik di seluruh areanya.
Di Semicorex, kami fokus pada penyediaan Cincin Saluran Masuk MOCVD yang berkualitas tinggi dan hemat biaya, kami mengutamakan kepuasan pelanggan dan memberikan solusi hemat biaya. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda, memberikan produk berkualitas tinggi dan layanan pelanggan yang luar biasa.
Parameter Cincin Masuk MOCVD
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
fase FCC β |
|
Kepadatan |
gram/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
Kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran Butir |
m |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas Panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuatan Felekural |
MPa (RT 4 poin) |
415 |
Modulus Young |
IPK (tikungan 4pt, 1300℃) |
430 |
Ekspansi Termal (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Cincin Saluran Masuk MOCVD
- Kepadatan yang baik dan dapat memainkan peran perlindungan yang baik dalam suhu tinggi dan lingkungan kerja yang korosif.
-Titik leleh tinggi, ketahanan oksidasi suhu tinggi, ketahanan korosi.