Susceptor Planet MOCVD untuk Semikonduktor

Semicorex adalah nama tepercaya di industri semikonduktor, menyediakan Planet Susceptor MOCVD untuk Semikonduktor berkualitas tinggi. Produk kami dirancang untuk memenuhi kebutuhan spesifik produsen semikonduktor yang mencari pembawa yang dapat memberikan kinerja, stabilitas, dan daya tahan yang sangat baik. Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang produk kami dan bagaimana kami dapat membantu Anda dengan kebutuhan manufaktur semikonduktor Anda.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Planet Susceptor untuk Semikonduktor MOCVD kami memiliki ketahanan oksidasi suhu tinggi, memastikan stabilitasnya pada suhu tinggi hingga 1600°C. Ini juga sangat murni, dibuat dengan deposisi uap kimia CVD di bawah kondisi klorinasi suhu tinggi, memastikan keseragaman dan konsistensi produk, bahkan profil termal dan pola aliran gas laminar.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Planet Susceptor MOCVD untuk Semikonduktor kami.

Parameter Planet Susceptor MOCVD untuk Semikonduktor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Grafit Dilapisi SiC untuk MOCVD

- Hindari mengelupas dan pastikan melapisi seluruh permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan deposisi uap kimia CVD dalam kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah penyebaran kontaminasi atau kotoran