Manufaktur semikonduktor, landasan kemajuan teknologi modern, terus berupaya menciptakan sirkuit terpadu yang lebih kecil, lebih cepat, dan lebih efisien. Upaya yang tiada henti ini mendorong kebutuhan akan proses manufaktur yang semakin tepat dan canggih, di mana setiap langkah sangat bergantung pa......
Baca selengkapnyaChuck elektrostatis (ESC) telah menjadi sangat diperlukan dalam manufaktur semikonduktor dan produksi layar panel datar, menawarkan metode yang bebas kerusakan dan sangat dapat dikontrol untuk menahan dan memposisikan wafer dan substrat halus selama langkah pemrosesan penting. Artikel ini menyelidik......
Baca selengkapnyaPerkembangan 3C-SiC, suatu politipe silikon karbida yang signifikan, mencerminkan kemajuan berkelanjutan dalam ilmu material semikonduktor. Pada tahun 1980-an, Nishino dkk. pertama kali mencapai film 3C-SiC setebal 4 μm pada substrat silikon menggunakan deposisi uap kimia (CVD) [1], yang meletakkan ......
Baca selengkapnya