Chuck elektrostatis (ESC) telah menjadi sangat diperlukan dalam manufaktur semikonduktor dan produksi layar panel datar, menawarkan metode yang bebas kerusakan dan sangat dapat dikontrol untuk menahan dan memposisikan wafer dan substrat halus selama langkah pemrosesan penting. Artikel ini menyelidik......
Baca selengkapnyaPerkembangan 3C-SiC, suatu politipe silikon karbida yang signifikan, mencerminkan kemajuan berkelanjutan dalam ilmu material semikonduktor. Pada tahun 1980-an, Nishino dkk. pertama kali mencapai film 3C-SiC setebal 4 μm pada substrat silikon menggunakan deposisi uap kimia (CVD) [1], yang meletakkan ......
Baca selengkapnyaLapisan silikon karbida (SiC) yang tebal dan memiliki kemurnian tinggi, biasanya melebihi 1 mm, merupakan komponen penting dalam berbagai aplikasi bernilai tinggi, termasuk fabrikasi semikonduktor dan teknologi ruang angkasa. Artikel ini mempelajari proses Deposisi Uap Kimia (CVD) untuk memproduksi ......
Baca selengkapnya