Cincin Luar Poli-Si untuk Etsa

Biasanya diposisikan di sekitarpancuran, Cincin luar Poly-Si berfungsi sebagai bagian penghubung antara cincin knalpot dan pancuran. Ia bekerja sama denganchuck elektrostatis, pancuran Si, cincin fokus Si, cincin pembuangan Si, dan cincin pelindung Si, menciptakan lingkungan proses yang stabil dan andal untuk pengoperasian etsa presisi tinggi.

Keuntungan cincin luar Semicorex poli-Si untuk etsa

Cincin luar Semicorex poli-Si untuk etsa dibuat secara presisi dari polisilikon berkualitas tinggi, sehingga menghasilkan kinerja properti luar biasa berikut.

1. Kebersihan tinggi dan kandungan partikel rendah

2. Ketahanan suhu tinggi yang unggul dan ketahanan guncangan termal yang tinggi

3. Ketahanan korosi yang dapat diandalkan

4. Kinerja listrik yang luar biasa dan keseragaman konduktivitas listrik yang tinggi

Fungsi cincin luar Semicorex poli-Si untuk etsa

1. Performa grounding yang stabil

Digunakan untuk grounding dan perlindungan elektroda, cincin luar Semicorex poli-Si untuk etsa mampu menghindari akumulasi statis serta kerusakan busur dan memastikan pengoperasian sistem elektroda yang stabil, secara sempurna memenuhi tuntutan proses untuk fabrikasi NAND 3D tingkat lanjut.

2. Dukungan yang andal

Cincin luar semicorex poli-Si untuk etsa berfungsi sebagai komponen penting yang menghubungkan cincin knalpot dan pancuran. Mereka memberikan dukungan mekanis yang andal pada kedua bagian dan menjaga agar tetap berada pada posisi yang sesuai. Selain itu, penggunaan cincin luar Semicorex poli-Si untuk pengetsaan dapat mencegah erosi plasma pada ruang penggoresan, sehingga secara efektif memastikan pelaksanaan operasi pengetsaan yang stabil.

3. Kesesuaian dengan proses etsa

Cincin luar semicorex poli-Si untuk etsa memiliki kandungan pengotor yang rendah dan ketahanan terhadap korosi yang luar biasa, memberikan kompatibilitas yang sangat baik dengan fabrikasi wafer silikon, yang sangat menurunkan cacat wafer yang disebabkan oleh kontaminasi produk sampingan yang tergores dan secara signifikan memastikan tingkat hasil yang tinggi dalam produksi semikonduktor.