Perahu Wafer Silikon

Semicorex dapat menyesuaikan struktur perahu wafer silikon, termasuk bentuk batang alur, panjang gigi alur, bentuk, sudut kemiringan, dan total kapasitas pemuatan wafer, dan dapat diproduksi sesuai dengan kebutuhan pelanggan. Perahu silikon bersuhu tinggi dapat secara efektif mengurangi kerusakan kontak pada wafer silikon dan meningkatkan hasil proses. Desain "menara bebas selip" bersuhu tinggi menopang wafer hanya di ujung gigi penyangga. Dibandingkan dengansilikon karbida, silikon memiliki kekerasan yang relatif rendah, yang mengurangi kerusakan mekanis pada wafer, sehingga meningkatkan laju kelulusan kisi dan secara efektif mengurangi biaya produksi. Perahu silikon yang menyatu terdiri dari beberapa bagian: gigi, pelat dasar, dan pelat atas, yang digabungkan menjadi satu. Hal ini mengurangi biaya produksi. Jika terjadi kerusakan sebagian, bagian yang rusak dapat diganti tanpa mengganti seluruh perahu silikon, sehingga secara signifikan mengurangi biaya kepemilikan selama penggunaan. Selain itu, perahu silikon memiliki batas atas pengendapan polisilikon yang besar, yang secara efektif dapat mengurangi frekuensi peralatan PM dan meningkatkan kapasitas produksi.

Semicorex Silicon Wafer Boat adalah pembawa wafer yang inovatif dan dirancang khusus. Ini secara khusus dibuat untuk pemrosesan tungku suhu tinggi yang digunakan dalam industri semikonduktor, termasuk proses oksidasi dan reduksi pada suhu antara 1200 dan 1250 °C. Menampilkan manfaat kinerja yang tidak tersedia dalam bahan silikon karbida (SiC), Silicon Wafer Boat memberikan keunggulan yang berkaitan dengan proses ketat yang dibutuhkan manufaktur semikonduktor. Pertama, kemurnian bahan silikon yang sangat tinggi sangatlah penting; sebenarnya, itubahan silikon, silikon memiliki kekerasan yang relatif rendah, yang mengurangi kerusakan mekanis pada wafer, sehingga meningkatkan laju kelulusan kisi dan secara efektif mengurangi biaya produksi. Perahu silikon yang menyatu terdiri dari beberapa bagian: gigi, pelat dasar, dan pelat atas, yang digabungkan menjadi satu. Hal ini mengurangi biaya produksi. Jika terjadi kerusakan sebagian, bagian yang rusak dapat diganti tanpa mengganti seluruh perahu silikon, sehingga secara signifikan mengurangi biaya kepemilikan selama penggunaan. Selain itu, perahu silikon memiliki batas atas pengendapan polisilikon yang besar, yang secara efektif dapat mengurangi frekuensi peralatan PM dan meningkatkan kapasitas produksi.

Manfaat lain daribahan silikonadalah sifat kekerasannya yang lebih rendah jika dibandingkan dengan material SiC. Batangan atau perahu SiC dikenal karena kekerasan dan kekuatannya, namun sifat tersebut dapat menyebabkan kesulitan selama pemrosesan wafer. Pada suhu tinggi, wafer akan bergerak secara mikro; mereka akan memantul sedikit, bergeser sedikit, dan tepinya melengkung saat berada di dalam perahu. Bahan SiC yang lebih keras dapat menimbulkan risiko lebih tinggi untuk menghasilkan partikel atau goresan pada bagian belakang wafer karena sifat wafer dan perahu berinteraksi dalam kondisi pemrosesan suhu tinggi ini.

Silicon Wafer Boat mengatasi kekhawatiran ini dengan memanfaatkan karakter silikon yang relatif lunak dibandingkan dengan SiC. Pengurangan kekerasan memungkinkan berkurangnya gesekan dan tekanan mekanis saat wafer bersentuhan dengan perahu selama siklus termal. Hasilnya, partikel lebih jarang dihasilkan dan risiko goresan bagian belakang berkurang hingga hampir nol. Selain itu, dengan meminimalkan cacat permukaan, Silicon Wafer Boat secara langsung meningkatkan kualitas kisi dan meningkatkan tingkat kualifikasi keseluruhan wafer yang diproses. Untuk pabrik semikonduktor yang ingin meningkatkan hasil dengan kontrol kualitas maksimum, kondisi kinerja ini menjadikan perahu silikon sebagai pilihan yang menarik.

Silikon menawarkan stabilitas dan kekuatan mekanik yang baik pada suhu tinggi, memungkinkan kapal berfungsi dengan andal selama siklus tungku berulang. Bahan ini tahan terhadap lengkungan selama siklus pemanasan dan pendinginan, sehingga mempertahankan penempatan wafer dan toleransi posisi yang tepat bahkan selama siklus tungku yang cepat. Ketahanan termal ini memberikan hasil proses yang dapat diandalkan dan cukup konsisten untuk produksi volume tinggi dengan variasi minimal antar proses. Silicon Wafer Boat dibuat dengan presisi dimensi tinggi untuk memastikan posisi dan penempatan wafer yang konsisten. Perahu dibuat menggunakan permesinan dan pemolesan canggih untuk menciptakan permukaan halus, geometri rapat, dan toleransi ketat.