Cincin Pelindung Silikon

Cincin Pelindung Silikon Semicorex adalah komponen semikonduktor penting dalam proses etsa. Fungsi utamanya adalah mengelilingi elektroda dan mencegah kebocoran plasma yang berlebihan. Dengan kemurnian bahan melebihi 9N (99,9999999%), cincin pelindung dapat dibuat dari kristal tunggal dan multi-kristal.silikon, memastikan pengoperasian yang sangat bersih dan kompatibilitas yang andal dengan proses manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.

Kontrol plasma yang akurat dalam proses etsa CCP/ICP sangat penting untuk laju etsa yang efektif, seragam, dan kualitas wafer. Kebocoran plasma yang tidak terkendali di luar area etsa yang diinginkan dapat menyebabkan erosi permukaan dan kontaminasi atau merusak komponen di dalam ruangan. Cincin pelindung silikon adalah solusi efektif dan sederhana untuk masalah ini, dibuat untuk membentuk penghalang pelindung di sekeliling luar elektroda, menahan plasma agar tidak menyebar ke luar area target dan membatasi pengetsaan hanya pada area yang diinginkan. Cincin pelindung silikon juga bertindak sebagai elektroda luar untuk menstabilkan distribusi plasma dan memungkinkan energi yang lebih seragam pada permukaan wafer.

Sifat termal dan listrik silikon semakin mendukung kinerja Cincin Pelindung Etsa. Ketahanannya terhadap suhu proses yang tinggi memberikan integritas struktural selama paparan plasma dalam waktu lama, dan konduktivitas listriknya memungkinkan komponen beroperasi dengan baik sebagai elemen dalam sistem elektroda. Bersama-sama, aplikasi ini meningkatkan pengekangan plasma dan meningkatkan keseragaman energi, yang memungkinkan profil etsa berulang di seluruh wafer.

Toleransi mekanis adalah karakteristik penting lainnya dari Cincin Pelindung Etsa Silikon. Dengan diproduksi dengan toleransi yang ketat, ini menjamin posisi yang akurat di sekitar elektroda dan menjaga jarak dan geometri ruangan. Ketepatan mekanis ini menghasilkan kondisi proses yang berulang untuk mengurangi variabilitas antar proses individual, dan membantu memungkinkan produksi semikonduktor bervolume tinggi. Bahannya sendiri memiliki kompatibilitas yang sangat baik dengan lingkungan plasma; oleh karena itu mengikis strukturnya memungkinkannya memberikan masa pakai yang lama dan stabilitas dalam kinerja proses.

Daya tahan dan efektivitas biaya adalah dua manfaat yang lebih berharga. Dengan melindungi bagian ruangan yang tidak perlu dari plasma, cincin pelindung mengurangi keausan pada komponen penting lainnya, sehingga mengurangi upaya pemeliharaan dan meningkatkan waktu operasional secara keseluruhan. Masa pakai yang lama dan penggantian yang lebih jarang menjadikannya solusi hemat biaya bagi pabrik semikonduktor untuk meningkatkan produktivitas dan dengan demikian mengurangi biaya pengoperasian.

ItuSilikoncincin pelindung juga dapat disesuaikan untuk setiap konfigurasi alat dan spesifikasi proses karena tersedia dalam beberapa ukuran dan geometri untuk mengakomodasi berbagai ruang etsa plasma yang dibuat oleh pabrikan, namun tetap mencapai kesesuaian optimal. Selain itu, perawatan permukaan dan pemolesan dapat dimanfaatkan untuk lebih mengurangi pembentukan partikel untuk standar manufaktur ultra-bersih.