Perahu Alas Silikon

Semicorex Silicon Pedestal Boat adalah pembawa wafer ultra-bersih yang telah dirancang dengan kemurnian dan presisi tinggi untuk mendukung proses semikonduktor suhu tinggi seperti oksidasi, difusi, dan LPCVD (Deposisi Uap Kimia Tekanan Rendah). Pembawa wafer ini terbuat dari 9N (99,9999999%)silikon dengan kemurnian tinggiuntuk memastikan kebersihan yang luar biasa, koefisien termal dari stabilitas ekspansi, dan presisi mekanis untuk dukungan wafer dan kontrol proses yang konsisten di lingkungan yang sangat bersih.

Karena geometri perangkat semikonduktor terus menyusut, kebutuhan akan komponen penanganan wafer yang sangat bersih dan kompatibel secara termal tidak pernah begitu diminati. Silicon Pedestal Boat menjawab kebutuhan ini dengan akurasi dimensi tinggi dan kemurnian tak tertandingi untuk digunakan dalam sistem tungku canggih yang beroperasi antara 1100°C dan 1250°C.

Struktur perahu silikon dapat disesuaikan untuk memenuhi kebutuhan pelanggan, termasuk bentuk batang alur, panjang gigi alur, bentuk, sudut kemiringan, dan total kapasitas pemuatan wafer. Perahu silikon bersuhu tinggi dapat secara efektif mengurangi kerusakan kontak pada wafer silikon, sehingga meningkatkan hasil proses. Desain "menara bebas selip" bersuhu tinggi menopang wafer hanya di ujung gigi penyangga. Dibandingkan dengan silikon karbida, silikon relatif kurang keras, sehingga mengurangi kerusakan mekanis pada wafer, sehingga meningkatkan kualitas kisi dan secara efektif mengurangi biaya produksi.

silikon monokristalin atau polikristalinsilikon monokristalin atau polikristalinuntuk menghilangkan risiko kontaminasi yang terkait dengan bahan non-silikon. Platform ini memiliki komposisi kimia yang sama dengan wafer yang digunakan secara aktif, sehingga meminimalkan reaksi yang tidak diinginkan atau difusi ion selama proses suhu tinggi. Homogenitas bahan secara substansial mengurangi identitas fisik partikel dan pengotor logam untuk menghasilkan kualitas wafer tinggi yang konsisten dan hasil perangkat yang tinggi melalui siklus produksi berulang.

Semicorex Silicon Pedestal Boat memiliki slot wafer yang dirancang secara presisi, dikombinasikan dengan struktur pendukung vertikal, memastikan bahwa wafer tetap sejajar dan ditempatkan dengan sempurna selama siklus pemanasan. Stabilitas dimensinya luar biasa, memastikan bahwa perahu alas tidak akan melengkung, bengkok, atau bergeser pada suhu ekstrem, sehingga menghasilkan suhu dan distribusi gas yang baik pada setiap wafer. Stabilitas dimensi ini mempunyai efek langsung dan positif terhadap keseragaman ketebalan film selama oksidasi dan difusi dan memberikan jumlah cacat yang lebih rendah serta kemampuan pengulangan proses yang lebih baik.

Manfaat utama perahu alas silikon adalah sifat mekanik dan termalnya yang dioptimalkan. Kekerasan silikon dibandingkan dengan SiC atau kuarsa akan membantu menurunkan goresan mikro dan pembentukan partikel akibat getaran atau pergerakan wafer selama pemuaian yang dipanaskan. Hal ini terutama berlaku untuk wafer yang sensitif terhadap bagian belakang, dimana integritas permukaan wafer sangat penting untuk hasil dan kinerja perangkat.

Perahu alas memiliki konduktivitas termal yang baik dan koefisien muai panas yang rendah sehingga memberikan karakteristik perpindahan panas dengan tetap mempertahankan bentuk dan kesehatan struktural dengan beberapa siklus pemanasan dan pendinginan. Desain kokohnya juga memberikan umur panjang dengan deformasi minimal melalui kondisi tungku ekstrem.

Semicorex menyediakan desain khusus untuk berbagai konfigurasi peralatan, termasuk diameter wafer, jumlah slot, tinggi alas, dan variasi geometri. Setiap produk diperiksa kemurniannya, pengukuran dimensinya, dan pengujian konduktivitas termal, semuanya untuk memenuhi standar tertinggi dalam proses manufaktur semikonduktor.

Silicon Pedestal Boat kompatibel dengan proses oksidasi dan difusi serta dengan LPCVD dan aplikasi anil yang memerlukan keseragaman suhu dan pengendalian kontaminasi yang tak tertandingi. Silicon Pedestal Boat kompatibel dengan komponen tungku silikon lainnya seperti tabung injektor, tabung liner, dan pembawa wafer, menjaga kesesuaian material dan termal di seluruh sistem pemrosesan.