Cincin Berlubang Poli-Si

Cincin berlubang Poli-Si biasanya dipasang di ruang reaksi peralatan etsa semikonduktor canggih. Mereka beroperasi secara sinergis dengan bagian silikon, termasuk silikoncincin fokus, cincin luar silikon, dan silikonpancuran. Bagian-bagian ini dapat menciptakan lingkungan reaksi yang stabil dan optimal untuk proses etsa, memastikan kualitas terbaiketsapresisi dan konsistensi proses.

Fungsi cincin berlubang poli-Si Semicorex

1. Cincin berlubang poli-Si semicorex dilengkapi dengan beberapa slot yang terdistribusi secara merata yang berfungsi sebagai saluran gas, yang memungkinkan pembuangan gas proses dengan lancar setelah reaksi.

2. Cincin berlubang poli-Si semicorex mampu mencapai kontrol plasma yang sangat baik, menawarkan perlindungan yang andal untuk ruang reaksi peralatan etsa semikonduktor.

3. Cincin berlubang semicorex poli-Si dapat membantu mengatur medan listrik dan tekanan ruang, sehingga mencegah ketidakstabilan yang mempengaruhi konsistensi proses etsa.

Pemilihan material berstandar tinggi

Cincin berlubang poli-Si Semicorex dibuat dari silikon polikristalin berkualitas tinggi dengan tingkat kemurnian lebih dari 99,9999%, yang memberikan sifat unggul sebagai berikut.

1. Kemurnian sangat tinggi dan kandungan pengotor yang sangat rendah.

2. Ketahanan korosi plasma yang luar biasa.

3. Sifat listrik yang menguntungkan, dengan keseragaman resistansi: RRG ≤ 5%, resolusi rendah. (<0,02), resolusi menengah. (1–4), dan resolusi tinggi. (70–90).

Kemampuan manufaktur dan kontrol kualitas

Dilengkapi dengan peralatan permesinan canggih dan tim teknis yang berpengalaman, Semicorex secara ketat mengontrol setiap proses produksi dan menawarkan cincin slot poli-Si berkualitas tinggi dan serasi kepada pelanggan kami yang berharga. Selain itu, Semicorex melakukan kontrol ketat terhadap pengukuran dimensi, pengujian resistivitas, dan inspeksi visual pada cincin slot poli-Si yang telah selesai untuk memastikannya bebas dari cacat seperti keripik, goresan, retakan, dan noda.