Piring sic berpori

Semicorex Porous SIC Plate adalah bahan keramik berkinerja tinggi yang dirancang untuk aplikasi manufaktur semikonduktor dan presisi canggih. Direkayasa dengan struktur berpori yang dikontrol halus, pelat ini menawarkan kekuatan mekanik yang luar biasa, stabilitas termal, dan ketahanan kimia, menjadikannya pilihan yang ideal untuk digunakan sebagai aChuck vakumdalam pemrosesan semikonduktor.

Diproses dengan sintering presisi dan pembentukan pori, pelat siC berpori memiliki porositas yang seragam dan permeabilitas udara yang dioptimalkan sehingga memastikan adsorpsi wafer tipis yang aman dan stabil, panel kaca, dan substrat halus lainnya. Distribusi ukuran pori yang dikendalikan dengan cermat akan memungkinkan pengisapan vakum yang efektif sambil menyatukan konstituen strukturalnya sampai atom terakhir, hampir mencegah deformasi atau kerusakan untuk bahan yang dimaksud untuk pemrosesan lebih lanjut: wafer.

Konduktivitas termal yang sangat baik menjadikan pelat sic berpori salah satu kandidat terbaik untuk disipasi panas cepat dengan distribusi suhu yang seragam di seluruh permukaan. Ini menjadi penting dalam banyak jenis proses pembuatan semikonduktor untuk menjaga stabilitas dalam kondisi termal, yang secara langsung berkaitan dengan hasil dan kualitas produk. Juga, silikon karbida menghadirkan resistensi keausan dengan baik dan tingkat kekerasan yang relatif tinggi, sehingga memberikan umur yang lebih lama untuk piring karena keausan permukaan dan kontaminasi tertunda dalam banyak penggunaan yang diperpanjang.

Inertness kimia adalah karakteristik vital lain dari pelat sic berpori. Ini menunjukkan resistensi yang kuat terhadap asam, alkalis, dan paparan plasma, menjadikannya sangat cocok untuk lingkungan yang keras dalam fabrikasi semikonduktor, seperti etsa, deposisi, dan ruang pemrosesan kimia. Sifat SIC yang tidak reaktif mencegah interaksi kimia yang tidak diinginkan, menjaga kemurnian bahan olahan dan meningkatkan keandalan produksi.

Selain itu, sifat ringan dari SIC berpori, dikombinasikan dengan sifat mekaniknya yang kuat, memfasilitasi penanganan dan integrasi yang mudah ke dalam mesin presisi. Koefisien ekspansi termal yang rendah memastikan stabilitas dimensi bahkan di bawah fluktuasi suhu ekstrem, meminimalkan risiko warping atau ketidaksejajaran selama operasi.

Pelat SIC berpori dapat disesuaikan untuk memenuhi persyaratan aplikasi tertentu, termasuk variasi dalam porositas, ketebalan, dan finishing permukaan. Teknik pemesinan dan pemolesan canggih dapat diterapkan untuk mencapai permukaan ultra-flat dengan kekasaran minimal, lebih lanjut meningkatkan kinerjanya sebagai bahan chuck vakum.

Lempeng silikon karbida semikorex berpori adalah komponen keramik yang sangat khusus yang menawarkan kombinasi kekuatan tinggi, stabilitas termal dan kimia yang sangat baik, dan ketahanan aus yang unggul. Struktur keroposnya yang unik memungkinkan pengisapan vakum yang efektif, memastikan penanganan wafer yang aman di industri semikonduktor dan presisi. Akibatnya, ini adalah bahan penting untuk aplikasi presisi tinggi di mana kinerja, daya tahan, dan keandalan adalah yang terpenting.