Efektor Ujung Robot

Semicorex adalah produsen terkemuka yang dimiliki secara independen untuk Silicon Carbide Coated Graphite, Precision Machined High Purity Graphite yang berfokus pada Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, area MOCVP manufaktur semikonduktor. Robot End Effector kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Robot End Effector adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antar posisi pada peralatan pengolah wafer dan pembawa. Robot End Effector harus memiliki dimensi yang presisi dan stabil secara termal, serta memiliki permukaan yang halus dan tahan abrasi agar dapat menangani wafer dengan aman tanpa merusak perangkat atau menghasilkan kontaminasi partikulat. Lapisan silikon karbida (SiC) kemurnian tinggi kami, Robot End Effector, memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, serta ketahanan terhadap bahan kimia yang tahan lama.

Parameter Efektor Ujung Robot

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300