Efektor Ujung Robot

Semicorex adalah produsen terkemuka yang dimiliki secara independen dari Silicon Carbide Coated Graphite, Precision Machined High Purity Graphite yang berfokus pada Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, area MOCVP manufaktur semikonduktor. Robot End Effector kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup banyak pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Robot End Effector adalah tangan robot yang menggerakkan wafer semikonduktor antara posisi dalam peralatan pemrosesan wafer dan pembawa. Robot End Effector harus presisi secara dimensi dan stabil secara termal, sekaligus memiliki permukaan yang halus dan tahan abrasi untuk menangani wafer dengan aman tanpa merusak perangkat atau menghasilkan kontaminasi partikulat. Robot End Effector lapisan silikon karbida (SiC) kemurnian tinggi kami memberikan ketahanan panas yang unggul, bahkan keseragaman termal untuk ketebalan dan ketahanan lapisan epi yang konsisten, dan ketahanan kimia yang tahan lama.

Parameter Robot End Effector

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur kristal	FCC Î² fase
Kepadatan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran butir	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Feleksural	MPa (RT 4 titik)	415
Modulus Muda	Gpa (tikungan 4pt, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300