> Produk > Dilapisi Silikon Karbida > Penerima MOCVD > Pembawa Wafer Semikonduktor untuk Peralatan MOCVD

Produk

produk baru

Pembawa Wafer Semikonduktor untuk Peralatan MOCVD

Anda dapat yakin untuk membeli Pembawa Wafer Semikonduktor untuk Peralatan MOCVD dari pabrik kami. Pembawa wafer semikonduktor merupakan komponen penting dari peralatan MOCVD. Mereka digunakan untuk mengangkut dan melindungi wafer semikonduktor selama proses pembuatan. Pembawa Wafer Semikonduktor untuk Peralatan MOCVD terbuat dari bahan dengan kemurnian tinggi dan dirancang untuk menjaga integritas wafer selama pemrosesan.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Pembawa Wafer Semikonduktor kami untuk Peralatan MOCVD merupakan komponen penting dari proses pembuatan semikonduktor. Itu terbuat dari grafit kemurnian tinggi dengan lapisan silikon karbida dengan metode CVD dan dirancang untuk menampung banyak wafer. Pengangkut menawarkan beberapa manfaat, termasuk peningkatan hasil, peningkatan produktivitas, pengurangan kontaminasi, peningkatan keselamatan, dan efektivitas biaya. Jika Anda mencari Pembawa Wafer Semikonduktor yang andal dan berkualitas tinggi untuk Peralatan MOCVD, produk kami adalah solusi yang tepat.
Hubungi kami hari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Pembawa Wafer Semikonduktor kami untuk Peralatan MOCVD.

Parameter Pembawa Wafer Semikonduktor untuk Peralatan MOCVD

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Grafit Dilapisi SiC untuk MOCVD

- Hindari mengelupas dan pastikan melapisi seluruh permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan deposisi uap kimia CVD dalam kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah penyebaran kontaminasi atau kotoran