Pemegang kapal sic

Pemegang kapal semikorex sic adalah perangkat pendukung presisi yang dirancang untuk menampung kapal wafer selama proses suhu tinggi dalam fabrikasi semikonduktor. Terbuat dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi (SIC), pemegang ini menunjukkan stabilitas termal yang sangat baik, ketahanan kimia, dan kekakuan mekanik, fitur penting ketika digunakan dalam proses seperti difusi, oksidasi, dan pertumbuhan epitaxial.

Dalam menuntut lingkungan fabrikasi semikonduktor, melindungi integritas wafer dan meminimalkan kontaminasi sangat penting. Pemegang kapal SiC menawarkan platform inert yang solid yang dapat mentolerir lingkungan tungku ekstrem sambil mempertahankan integritas tanpa deformasi dan tanpa pelepasan kontaminan. Ketidakluhan kimianya memungkinkan penggunaannya dengan gas proses reaktif, sementara transmitansi termal mereka mempromosikan bahkan pemanasan permukaan wafer untuk pemrosesan yang konsisten.

Setiap pemegang kapal SIC diproduksi dengan toleransi tinggi untuk akurasi dimensi, membuatnya mudah untuk mengakomodasi dan beradaptasi dengan jenis kapal wafer apa pun dan konfigurasi beban otomatis. Struktur kaku mereka tidak hanya menciptakan dukungan yang kuat, stabil, dan memadai untuk kapal wafer tetapi juga mengurangi kemungkinan vibrasi mikro atau pergeseran posisi dapat dimiliki pada wafer. Selain itu, silikon karbida memiliki ketahanan aus yang sangat baik dan dapat menangani siklus panas berulang untuk memberikan umur panjang yang menghasilkan sedikit downtime dan penggantian bagian -bagian botol.

Atribut unik silikon karbida dapat memberikan manfaat tambahan sehubungan dengan kebersihan proses. Tidak seperti logam atau bahan keramik tingkat lebih rendah, SIC tidak mengelupas, outga, atau terdegradasi secara kimia di bawah suhu ekstrem atau dalam plasma. Ini menjadikan pemegang kapal SiC alat yang hebat bagi produsen yang mencoba membatasi kontaminasi ruang bersih untuk node semikonduktor canggih yang membutuhkan hasil dan kemurnian tinggi.

Pemegang kapal semikorex sic diproduksi menggunakan proses cetakan dan sintering yang unik yang memastikan mikrostruktur yang seragam dan kinerja mekanis antara batch dan di beberapa pemegang kapal. Misalnya, bentuk pemegang atau konfigurasi slot dapat disesuaikan, serta jenis pemasangan.

Apakah digunakan dalam tungku vertikal atau reaktor horizontal, penyesuaian pemegang kapal semikorex sic akan memenuhi toleransi untuk manufactruring semikonduktor generasi berikutnya. Jika Anda memilih produk Semicorex, Anda akan tahu bahwa Anda bekerja dengan pemasok yang berpengetahuan luas, didedikasikan untuk keunggulan materi, dan berusaha untuk terus berinovasi komponen keramik sehubungan dengan keandalan dan pengiriman.