Perahu SiC

Perahu SiC Semicorex dibuat dengan cermat dari keramik SiC dengan kemurnian tinggi, bahan yang terkenal karena stabilitas termalnya yang tak tertandingi, kekuatan mekanik yang luar biasa, dan kelembaman kimia yang tak tergoyahkan. Kualitas ini menjadikannya pilihan sempurna untuk kondisi fabrikasi semikonduktor yang ketat.

Perahu SiC memiliki kekuatan dan daya tahan mekanis yang tak tertandingi, berkat kekerasan material dan ketahanan aus yang luar biasa. Hal ini memungkinkan mereka untuk bertahan dalam tuntutan lingkungan produksi semikonduktor dengan throughput tinggi tanpa mengalami keausan secara bertahap. Tidak seperti material lainnya, SiC mempertahankan integritas strukturalnya dari waktu ke waktu, sehingga secara signifikan mengurangi kebutuhan akan penggantian yang sering dan meminimalkan waktu henti dalam operasi manufaktur – yang pada akhirnya menghasilkan penghematan biaya yang besar bagi produsen semikonduktor.

Kelambanan kimiawi SiC semakin memperkuat kesesuaiannya untuk proses semikonduktor dengan menjadikannya sangat tahan terhadap serangan kimia dari gas reaktif dan bahan yang umum digunakan seperti klorin dan fluor. Ketahanan yang kuat ini memastikan bahwa kapal SiC tidak mengkontaminasi wafer selama pemrosesan, sehingga menjaga kemurnian dan kualitas perangkat semikonduktor yang sedang dibuat. Untuk proses yang menuntut tingkat ketahanan kimia yang lebih tinggi, Kapal SiC dapat dilapisi dengan lapisan SiC tambahan, memberikan penghalang ekstra terhadap serangan bahan kimia dan meninggikan permukaan kapal untuk mengurangi risiko kontaminasi partikulat.

Kemurnian tinggi keramik SiC yang digunakan dalam kapal ini sangat penting, karena produksi semikonduktor memerlukan bahan dengan pengotor minimal. Bahkan sejumlah kecil kontaminan dapat merusak sifat listrik wafer dan mengakibatkan kerusakan pada perangkat akhir. Perahu SiC dibuat dari keramik SiC dengan kemurnian sangat tinggi untuk memastikan bahwa kapal tersebut tidak memasukkan kotoran ke dalam lingkungan proses, bahkan dalam suhu tinggi dan kondisi reaktif yang biasa terjadi pada fabrikasi semikonduktor. Kemurnian ini memperkuat keandalan Kapal SiC untuk langkah-langkah proses penting.

Kompatibilitas SiC Boats dengan berbagai peralatan semikonduktor adalah yang terpenting. Keserbagunaan SiC memungkinkannya dikerjakan secara presisi agar sesuai dengan dimensi dan konfigurasi spesifik yang diperlukan oleh berbagai jenis tungku dan reaktor semikonduktor, sehingga cocok untuk berbagai aplikasi, mulai dari operasi penelitian dan pengembangan skala kecil hingga jalur produksi skala besar. Selain itu, konduktivitas termal dan sifat pembuangan panas material yang luar biasa berkontribusi pada kontrol suhu yang lebih efisien selama pemrosesan, sehingga semakin meningkatkan kinerja dan hasil perangkat semikonduktor.