Dayung Kantilever SiC

Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle adalah komponen penting yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, khususnya dalam tungku difusi atau LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) selama proses seperti difusi dan RTP (Rapid Thermal Processing). Ini berfungsi untuk mendukung dan mengangkut wafer di dalam tabung proses tungku ini.

Semicorex SiC Cantilever Paddle terutama terdiri dari Silicon Carbide, bahan yang kuat dan stabil secara termal yang dikenal karena ketahanan suhu tinggi dan sifat mekanik yang sangat baik. SiC dipilih karena kemampuannya menahan kondisi keras yang dihadapi dalam lingkungan proses suhu tinggi tungku semikonduktor. Desain SiC Cantilever Paddle memungkinkannya meluas ke dalam tabung proses tungku sambil ditambatkan dengan kuat di salah satu ujung di luar tabung. Desain ini memastikan stabilitas dan dukungan untuk wafer yang sedang diproses sekaligus meminimalkan gangguan terhadap lingkungan termal di dalam tungku.

SiC Cantilever Paddle berfungsi untuk membawa wafer semikonduktor dengan aman di dalam tabung proses selama berbagai proses suhu tinggi seperti difusi dan RTP. Konstruksinya yang kokoh memastikan bahwa ia dapat menahan suhu ekstrim dan lingkungan kimia yang ditemui selama proses ini tanpa degradasi atau kegagalan. SiC Cantilever Paddles dirancang agar kompatibel dengan berbagai ukuran dan bentuk wafer semikonduktor yang umum digunakan di industri. Mereka sering kali dapat disesuaikan untuk mengakomodasi konfigurasi tungku tertentu dan persyaratan proses.