Sic Cantilever mendayung

Dayung Cantilever Semicorex SiC adalah komponen kinerja tinggi yang dirancang tepat untuk penanganan wafer dan transportasi wafer dalam peralatan pemrosesan termal semikonduktor (LPCVD, PECVD, oksidasi, dan tungku difusi). Dayung kantilever ini menyediakan platform untuk wafer dan bentuk dukungan yang diperlukan yang memastikan transportasi wafer rapuh yang stabil dan andal melalui proses suhu tinggi yang keras (seringkali melebihi 1200 ° C). Dayung kantilever diproduksi dari silicon carbide (SIC) yang tinggi yang menyediakan daya tahan mekanis, stabilitas termal, dan sifat anti-korosif untuk lingkungan fabrikasi semikonduktor.

Silicon carbide adalah bahan keramik super-premium dengan konduktivitas termal yang sangat baik, ekspansi termal yang rendah, dan kemampuan untuk berkinerja andal di lingkungan yang bermusuhan secara kimia. Silikon karbida dalam dayung kantilever dapat membantu mengurangi warping termal

 dan gerakan yang membuat wafer tetap datar dan dalam posisi pemrosesan nominal mereka. Stabilitas termal wafer dalam konteks dayung kantilever penting untuk meminimalkan masalah kontaminasi partikel dan pergerakan mekanis terutama ketika memproduksi perangkat simpul canggih. Masalah -masalah ini dapat mengakibatkan kehilangan hasil atau pengerjaan ulang yang mahal dan penggantian wafer.

Bentuk monolitik dari dayung cantilever SiC meningkatkan ketahanan mekanis dan keseragaman termal sambil menghilangkan sambungan dan titik lemah yang biasanya dapat ada dalam komposit. Selain itu, lapisan permukaan dayung secara khusus dikendalikan, dan umumnya dipoles menjadi kualitas cermin dekat untuk meminimalkan generasi partikel dan sangat sesuai dengan kelas.

Dalam proses difusi dan oksidasi yang melibatkan oksigen, uap dan gas reaktif lainnya; Bahan konvensional dapat melebur atau cacat dari waktu ke waktu. Properti inert kimia yang melekat SIC memastikan dayung tidak akan mengalahkan, atau mengikat dan memperkenalkan kontaminasi pada proses karena penggunaan bahan yang tidak stabil, berkontribusi pada proses yang lebih stabil dan hasil yang dapat diandalkan.  Integritas struktural dayung cantilever sic tetap stabil meskipun cepat bersepeda pemanasan dan pendinginan. Oleh karena itu, mereka menawarkan masa pakai operasional yang lama dengan pemeliharaan yang sangat berkurang atau downtime penggantian bagian.

Selain itu, massa yang berkurang dan berat dayung SiC memungkinkan respons termal yang lebih cepat; Dengan demikian memungkinkan untuk peningkatan termal yang lebih cepat dan waktu pendinginan yang berkontribusi terhadap peningkatan produktivitas dan efisiensi energi, semua metrik utama dalam lanskap kompetitif pembuatan semikonduktor.

Dayung cantilever sic dapat disediakan dalam berbagai konfigurasi dan ukuran, dirancang dan diproduksi untuk mengakomodasi berbagai desain tungku dan ukuran wafer mulai dari 100 mm hingga 300 mm dan lebih besar. OEM dan integrator peralatan menghargai konsistensi dan keandalan dayung SIC dari waktu ke waktu, untuk penyebaran dalam proses front-end dan back-end.

Semicorex menawarkan dayung cantilever sic premium dengan kontrol ketat pada kemurnian material, struktur mikro, dan toleransi dimensi. Kemampuan proses lanjutan kami, ditambah dengan pengetahuan kami tentang dinamika termal semikonduktor, memungkinkan kami untuk menghasilkan dayung dengan atribut ini yang memenuhi atau melampaui standar industri untuk stabilitas, kebersihan, dan daya tahan. Ketika harus benar dan dapat diandalkan, Semicorex adalah tempat untuk mencari komponen SiC yang berkualitas.