Susceptor MOCVD Grafit berlapis SiC

Suseptor MOCVD grafit berlapis SiCadalah komponen penting yang digunakan dalam peralatan Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD), yang bertanggung jawab untuk menahan dan memanaskan substrat wafer. Dengan manajemen termal yang unggul, ketahanan terhadap bahan kimia, dan stabilitas dimensi, suseptor MOCVD grafit berlapis SiC dianggap sebagai pilihan optimal untuk epitaksi substrat wafer berkualitas tinggi.

Dalam fabrikasi wafer,MOCVDteknologi ini digunakan untuk membuat lapisan epitaksi pada permukaan substrat wafer, mempersiapkan pembuatan perangkat semikonduktor canggih. Karena pertumbuhan lapisan epitaksi dipengaruhi oleh banyak faktor, substrat wafer tidak dapat langsung ditempatkan di peralatan MOCVD untuk pengendapan. Susceptor MOCVD grafit berlapis SiC diperlukan untuk menahan dan memanaskan substrat wafer, menciptakan kondisi termal yang stabil untuk pertumbuhan lapisan epitaksi. Oleh karena itu, kinerja suseptor MOCVD grafit berlapis SiC secara langsung menentukan keseragaman dan kemurnian bahan film tipis, yang pada gilirannya mempengaruhi pembuatan perangkat semikonduktor canggih.

Semicorex memilihgrafit dengan kemurnian tinggisebagai bahan matriks untuk suseptor MOCVD grafit berlapis SiC dan kemudian melapisi matriks grafit secara merata dengansilikon karbidapelapisan melalui teknologi CVD. Dibandingkan dengan teknologi konvensional, teknologi CVD secara signifikan meningkatkan kekuatan ikatan antara lapisan silikon karbida dan matriks grafit, sehingga menghasilkan lapisan yang lebih padat dengan daya rekat yang lebih kuat. Bahkan di bawah atmosfer korosif bersuhu tinggi, lapisan silikon karbida mempertahankan integritas struktural dan stabilitas kimianya dalam jangka waktu lama, secara efektif mencegah kontak langsung antara gas korosif dan matriks grafit. Hal ini secara efektif menghindari korosi pada matriks grafit dan mencegah partikel grafit terlepas dan mengkontaminasi substrat wafer dan lapisan epitaksi, memastikan kebersihan dan hasil fabrikasi perangkat semikonduktor.

Keuntungan dari suseptor MOCVD grafit berlapis SiC Semicorex

1. Ketahanan korosi yang sangat baik

2. Konduktivitas termal yang tinggi

3. Stabilitas termal yang unggul

4. Koefisien muai panas yang rendah

5. Ketahanan guncangan termal yang luar biasa

6. Kehalusan permukaan yang tinggi

7. Kehidupan pelayanan yang bertahan lama