Suseptor planet berlapis SiC

Susceptor planet berlapis Semicorex SiC adalah komponen pendukung yang sangat diperlukan yang dirancang untuk pertumbuhan epitaksi semikonduktor pada peralatan Aixtron G2, yang mampu menopang wafer dengan aman dan berputar sesuai gerakan planet. Dengan cara ini, keseragaman termal yang tepat dan distribusi gas yang seragam di seluruh permukaan wafer dapat dicapai dengan sukses, sehingga menghasilkan pengendapan lapisan epitaksi berkualitas premium pada wafer.

Keuntungan dari susceptor planet berlapis Semicorex SiC

1. Desain saku multi-wafer

Dilapisi Semicorex SiCpenerus planetmenampilkan distribusi seragam beberapa kantong wafer dengan dimensi yang dikontrol secara tepat. Kantong wafer ini mampu menahan substrat wafer dengan kuat selama proses pertumbuhan epitaksi, yang secara efektif dapat meminimalkan variasi proses epitaksi yang disebabkan oleh pergerakan substrat wafer yang tidak diinginkan. Selain itu, desain saku multi-wafer ini memungkinkan beberapa substrat wafer menjalani pengendapan epitaksi secara bersamaan dalam satu proses yang dijalankan, sehingga sangat meningkatkan efisiensi proses pertumbuhan epitaksi secara keseluruhan.

2. Pengaturan Lubang Aliran Gas yang Dioptimalkan

Semicorex menggabungkan serangkaian saluran aliran gas yang dirancang dengan cermat ke dalamnyamengandung SiCsuseptor planet, yang menyempurnakan optimalisasi dinamika aliran gas dan keseragaman termal di seluruh permukaan wafer selama proses epitaksi. Desain yang cermat ini memungkinkan kontrol yang akurat terhadap laju aliran dan distribusi gas di dalam ruang reaksi, yang penting untuk mencapai film tipis berkualitas tinggi, ketebalan lapisan seragam, dan kinerja perangkat secara keseluruhan yang andal.

3. Kebersihan sangat tinggi

Susceptor planet berlapis Semicorex SiC diproduksi dengan bahan dengan kemurnian sangat tinggi dan tingkat pengotor yang sangat rendah, sepenuhnya memenuhi persyaratan kebersihan yang ketat dari fabrikasi semikonduktor. Mereka secara efektif meminimalkan kontaminasi wafer yang disebabkan oleh pelepasan gas logam, bahkan dalam kondisi suhu tinggi dan korosif yang khas pada proses epitaksi.

4. Kehidupan pelayanan yang tahan lama

Kontrol kualitas Semicorex dimulai dengan pemilihan bahan baku kami yang ketat. Susceptor planet berlapis SiC diproduksi secara presisi dari grafit tingkat semikonduktor dan silikon karbida, menawarkan ketahanan suhu tinggi dan ketahanan korosi yang sangat baik, menjadikannya sangat tahan terhadap kondisi pengoperasian epitaksi suhu tinggi dan sangat korosif yang menantang. Dengan sifat material yang sangat baik ini, susceptor planet berlapis SiC Semicorex dapat mempertahankan kinerja yang konsisten dan integritas struktural serta menghindari kerusakan permukaan dan penurunan kinerja dalam ruang reaksi bersuhu tinggi dan korosi tinggi, sehingga memperpanjang masa pakai susceptor planet berlapis SiC secara signifikan.