Pembawa Pelat Dilapisi SiC untuk MOCVD

Semicorex SiC Coated Plate Carriers untuk MOCVD adalah pembawa berkualitas tinggi yang dirancang untuk digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Kemurniannya yang tinggi, ketahanan terhadap korosi yang sangat baik, dan bahkan profil termal menjadikannya pilihan yang sangat baik bagi mereka yang mencari pembawa yang dapat menahan tuntutan proses manufaktur semikonduktor.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Pengangkut pelat berlapis SiC kami untuk MOCVD memiliki kemurnian tinggi, menjadikannya pilihan tepat bagi mereka yang mencari pembawa yang sangat seragam dan konsisten dalam sifatnya.
Pembawa pelat berlapis SiC kami untuk MOCVD dibuat dengan lapisan silikon karbida dengan kemurnian tinggi pada grafit, yang membuatnya sangat tahan terhadap oksidasi pada suhu tinggi hingga 1600°C. Proses pengendapan uap kimia CVD yang digunakan dalam pembuatannya memastikan kemurnian tinggi dan ketahanan korosi yang sangat baik. Ini sangat tahan korosi, dengan permukaan padat dan partikel halus, sehingga tahan terhadap asam, alkali, garam, dan reagen organik. Ketahanan oksidasi suhu tinggi memastikan stabilitas pada suhu tinggi hingga 1600°C.

Parameter Pembawa Pelat Dilapisi SiC untuk MOCVD

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase FCC β
Kepadatan	gram/cm³	3.21
Kekerasan	Kekerasan Vickers	2500
Ukuran Butir	m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas Panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuatan Felekural	MPa (RT 4 poin)	415
Modulus Young	IPK (tikungan 4pt, 1300℃)	430
Ekspansi Termal (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor Grafit Dilapisi SiC untuk MOCVD

- Hindari mengelupas dan pastikan melapisi seluruh permukaan
Ketahanan oksidasi suhu tinggi: Stabil pada suhu tinggi hingga 1600°C
Kemurnian tinggi: dibuat dengan deposisi uap kimia CVD dalam kondisi klorinasi suhu tinggi.
Ketahanan korosi: kekerasan tinggi, permukaan padat dan partikel halus.
Ketahanan korosi: asam, alkali, garam dan reagen organik.
- Mencapai pola aliran gas laminar terbaik
- Menjamin kemerataan profil termal
- Mencegah penyebaran kontaminasi atau kotoran