Sirip SiC

Semicorex SiC Fin adalah komponen berkinerja tinggi yang terbuat darikeramik silikon karbida, ini dirancang untuk digunakan dalam sistem epitaksi dan etsa semikonduktor. Didesain sebagai potongan melingkar berbentuk cakram dengan berbagai lubang bor dengan diameter berbeda, SiC Fin adalah komponen penting untuk pola aliran material dan pengelolaan pembuangan gas atau limbah cair selama pemrosesan suhu tinggi atau plasma. Karena kinerja strukturalnya, ketahanan korosi yang sangat baik, dan stabilitas termal yang tinggi, SiC Fin sangat penting untuk manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.

SiC Fin dibuat dengan kemurnian tinggisilikon karbidabubuk menggunakan proses pembentukan dan sintering tingkat lanjut. Dengan demikian, ia memiliki kekuatan mekanik dan stabilitas yang sangat baik pada kondisi termal dan kimia yang tinggi. Sifat fisik unik silikon karbida seperti kekerasan tinggi, ekspansi termal rendah, dan kelembaman kimia yang sangat baik memungkinkan Sirip menjadi komponen struktural dalam plasma suhu tinggi atau lingkungan gas reaktif, yang merupakan karakteristik proses EPI dan etsa.

Struktur cakram komponen, lengkap dengan lubang yang dibor secara presisi, memungkinkan aliran gas dan cairan terkontrol ke seluruh ruang proses. Tergantung pada aplikasinya, lubang dapat dikonfigurasi untuk mengatur aliran produk sampingan atau drainase untuk lingkungan yang bersih dan stabil selama proses wafer. Dalam aplikasi epitaksi, misalnya, SiC Fin dapat membantu mengarahkan gas proses atau aliran kondensat, sehingga meningkatkan keseragaman lapisan film dan meminimalkan kontaminasi partikel. Dalam alat etsa, ini efektif untuk menghilangkan spesies reaktif dan produk sampingan cair secara aman dan efisien, melindungi komponen ruang yang rentan dari degradasi kimia.

Setiap Sirip SiC Semicorex diproduksi dengan toleransi yang sangat ketat dan dipoles untuk menghasilkan kerataan permukaan dan akurasi dimensi yang sangat baik. Presisi manufaktur ini memastikan kinerja yang andal ketika diintegrasikan ke dalam sistem yang rumit dan mempertahankan fungsionalitas yang konsisten untuk pengoperasian jangka panjang. Sirip SiC kompatibel dengan semua desain reaktor dan dapat diproduksi khusus dalam diameter, ketebalan, dan pola lubang untuk memenuhi kebutuhan pelanggan. Semicorex dapat menawarkan desain khusus untuk mengoptimalkan kinerja variabel proses seperti laju aliran, geometri ruang, dan suhu.

Selain fungsinya yang serbaguna, SiC Fin memiliki daya tahan dan umur panjang yang luar biasa dibandingkan material lainnya. Bahan ini sangat tahan terhadap oksidasi, erosi plasma, dan korosi kimia, sehingga mengurangi frekuensi penggantian suku cadang dan mengurangi waktu henti sistem. Selain itu, konduktivitas termal silikon karbida memungkinkan kapasitas pembuangan panas untuk mengatur gradien termal pada perangkat, menghindari lengkungan atau keretakan yang tidak diinginkan selama siklus suhu yang cepat.

Semicorex menggunakan tingkat lanjutkeramikkemampuan pemrosesan dan pelapisan CVD untuk memberikan kemurnian dan konsistensi tertinggi dari SiC Fin yang dihasilkan. Setiap Sirip SiC juga diperiksa kepadatannya, keseragaman struktur mikronya, dan kesempurnaan permukaannya untuk memastikannya memenuhi persyaratan industri semikonduktor. Hal ini menghasilkan komponen yang memiliki integritas mekanis dan ketahanan untuk pengoperasian yang stabil dan jangka panjang di lingkungan ekstrem.

Sirip SiC Semicorex adalah hasil ilmu material dan teknologi rekayasa yang canggih. Tidak hanya menghasilkan aliran pembuangan dan cairan yang efektif, namun juga berkontribusi terhadap kebersihan dan keandalan seluruh sistem epitaksi dan etsa. Ini menggabungkan kekuatan mekanik, stabilitas termal, dan umur panjang korosi untuk memberikan pengalaman yang lebih konsisten untuk aplikasi pemrosesan semikonduktor.