Tabung Tungku Horisontal SIC

Tabung tungku horizontal SICadalah pembawa yang sangat diperlukan dari sistem tungku, biasanya terletak di area pemanasan inti manufaktur semikonduktor atau peralatan produksi fotovoltaik. Mereka bekerja sama dengan elemen pemanas, sistem kontrol suhu, sistem kontrol gas dan perahu wafer untuk membentuk sistem tungku yang lengkap.

Dalam operasi sebenarnya, tabung tungku horizontal SIC dipanaskan oleh elemen pemanas, yang secara seragam memindahkan panas ke dalam tabung tungku dengan bantuan konduktivitas termal yang sangat baik dari bahan silikon karbida. Sementara itu, gas proses tertentu (seperti oksigen, nitrogen, gas doping, dll.) dimasukkan ke dalam tabung tungku. Di bawah pengaruh atmosfer gas bersuhu tinggi ini, bahan semikonduktor di dalam tungku akan mengalami reaksi kimia atau perubahan fisik, yang pada akhirnya mencapai modifikasi bahan, doping, atau optimalisasi struktural.

Tabung tungku horizontal SIC Semicorex memberikan kekuatan dan kekerasan mekanis yang luar biasa, yang memainkan peran penting dalam aplikasi yang melibatkan penanganan dan pemrosesan wafer bervolume besar. Tabung tungku horizontal SIC mampu memberikan dukungan yang stabil untuk wafer dalam proses perlakuan panas seperti oksidasi, difusi, dan anil, memastikan wafer berada pada posisi yang tepat selama pemrosesan suhu tinggi dan menghindari perpindahan atau deformasi yang disebabkan oleh tekanan termal.

Tabung tungku horizontal SIC Semicorex dibuat dengan kemurnian tinggikeramik silikon karbidadengan kandungan pengotor yang sangat rendah, diikuti dengan pengendapan CVDlapisan silikon karbidadi permukaan mereka. Metode manufaktur ini menambahkan lapisan pelindung pada tabung tungku horizontal SIC, yang memungkinkannya beroperasi secara stabil di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif dari waktu ke waktu. Kinerja ketahanan korosi pada tabung tungku horizontal SIC meningkatkan efisiensi pembuatan wafer semikonduktor dengan secara efektif menurunkan risiko kerusakan komponen terkait korosi dan mengurangi kebutuhan akan penggantian dan pemeliharaan yang sering.

Dengan banyaknya sifat unggul, tabung tungku horizontal SIC Semicorex banyak digunakan dalam banyak proses pemrosesan suhu tinggi di industri fotovoltaik dan semikonduktor seperti proses oksidasi, proses difusi, proses anil, dan pengendapan uap kimia bertekanan rendah.