Pelat Etsa SiC ICP

Pelat Etsa ICP Semicorex SiC memenuhi permintaan industri dengan menawarkan konduktivitas termal yang luar biasa, kekerasan yang unggul, dan stabilitas kimia yang luar biasa, menjadikannya pilihan yang lebih disukai untuk manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.

Silicon Carbide terkenal dengan konduktivitas termalnya yang luar biasa, yang merupakan atribut penting dalam manufaktur semikonduktor. Properti ini memungkinkan Pelat Etsa ICP SiC menghilangkan panas yang dihasilkan selama proses etsa secara efisien, sehingga menjaga suhu pengoperasian optimal. Dengan mengelola panas secara efektif, Pelat Etsa ICP SiC meminimalkan risiko panas berlebih, memastikan kinerja dan keandalan yang konsisten, bahkan dalam aplikasi berdaya tinggi. Manajemen termal ini penting untuk menjaga integritas proses etsa dan mencapai hasil berkualitas tinggi.

Fitur menonjol lainnya dari Pelat Etsa ICP SiC adalah kekerasan dan ketahanan ausnya yang unggul. Sebagai salah satu material terkeras yang ada, Silicon Carbide menunjukkan ketahanan luar biasa terhadap abrasi dan keausan mekanis. Karakteristik ini sangat berharga dalam lingkungan etsa plasma, dimana pelat etsa terkena kondisi kimia dan fisik yang agresif. Daya tahan Pelat Etsa ICP SiC menghasilkan masa pakai yang lebih lama, waktu henti yang lebih sedikit, dan biaya perawatan yang lebih rendah, menjadikannya solusi hemat biaya untuk produksi bervolume tinggi.

Selain sifat termal dan mekaniknya, Pelat Etsa SiC ICP menawarkan stabilitas kimia yang sangat baik. Silicon Carbide sangat tahan terhadap korosi dan serangan kimia, memastikan integritas struktural dan kinerjanya tetap terjaga bahkan di lingkungan kimia yang keras. Ketahanan terhadap degradasi kimia ini sangat penting untuk menjaga presisi dan keakuratan proses pengetsaan, karena setiap gangguan pada integritas pelat penggoresan dapat mengakibatkan cacat pada perangkat semikonduktor yang sedang diproduksi.