Tabung oksidasi sic

Tabung oksidasi semikorex sic dibangun dari keramik silikon karbida dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk oksidasi, difusi, atau proses anil yang biasanya dilakukan pada 1600 ° C. Sebagai bagian dari tungku SiC, horizontal atau vertikal, ini adalah lingkungan yang terkontrol tempat wafer dipanaskan saat mengoksidasi. Fungsi tabung oksidasi adalah untuk menyediakan lingkungan yang bersih, seragam, dan stabil untuk perlakuan termal silikon karbida (sic) wafer dalam pembuatan perangkat daya dan semikonduktor celah pita yang luas, sebagai pembukaan proses pengoksidasi potensial yang konstan, tabung oksidasi bertindak sebagai penargetan yang dapat ditargetkan untuk penggunaan pertama. Sementara tabung kuarsa dan alumina sering ditemukan rusak dari waktu ke waktu melalui devitrifikasi, warping, atau kerusakan kimia, silikon karbida memiliki daya tahan yang luar biasa terhadap tantangan kejut termal, peningkatan properti mekanis, dan inertness kimia. Faktor -faktor ini menghasilkan silikon karbida sebagai pilihan yang bagus untuk tabung oksidasi dalam reliabilitas tinggi, lingkungan throughput tinggi.

Menggunakan bentuk-bentuk lanjutan pembentukan seperti penekan isostatik dingin dan sintering tanpa tekanan (atau rekristalisasi), semikoreks menghasilkan tabung oksidasi SiC yang memiliki mikrostruktur yang padat, ketat gas, dan homogen. Ini memberikan kekuatan tanpa risiko porositas, memungkinkan proses oksidasi untuk melanjutkan tanpa kontaminasi. SIC memiliki konduktivitas termal yang sangat tinggi, memungkinkan distribusi termal yang seragam ke zona beban wafer dan dengan demikian mengurangi gradien termal yang dapat menyebabkan wafer atau cacat yang bengkok. Resistensi tabung terhadap asam, basa, dan gas reaktif mencegah interaksi kimia yang tidak diinginkan dengan permukaan wafer dan melalui lingkungan tungku juga.

Itu tidak merayap, itu tidak berubah bentuk. Tabung tidak harus diganti setelah beberapa siklus produksi-ini adalah lingkungan bersepeda termal jangka panjang yang jika tidak akan menghancurkan bahan yang lebih rendah. Oleh karena itu, tidak ada gangguan frekuensi tinggi yang berarti biaya operasi yang rendah, dan ini membuat proses mengalir tanpa gangguan. Ini juga mengurangi risiko kontaminasi yang dapat dengan mudah menurunkan kinerja hasil pada perangkat semikonduktor generasi berikutnya di mana pengotor jejak memainkan peran penting. Semicorex menghasilkan dimensi tabung standar dan sepenuhnya disesuaikan untuk platform tungku dan resep apa pun yang digunakan. Diameter dalam dan luar, panjang, ketebalan dinding, dan lapisan permukaan adalah semua parameter yang mungkin memerlukan penyesuaian untuk mengatasi berbagai kebutuhan termal dan mekanik spesifik; Dari tungku R&D skala laboratorium hingga jalur manufaktur besar-dalam setiap kasus di mana tabung membutuhkan pemesinan, pembersihan, dan inspeksi untuk menjamin kinerja.

Kontrol kualitas dimulai dengan pemeriksaan dimensi, uji kerapatan material, dan validasi reliabilitas siklus termal untuk setiap tabung oksidasi SIC tunggal. Sistem penelusuran bahan yang kuat mencatat produk dari tahap bubuk mentah hingga inspeksi akhir. Kualitas semacam itu memberi pelanggan tangan yang stabil dalam stabilitas jangka panjang dan reproduktifitas tabung oksidasi SIC kami.

Pilih Semicorex, dan dapatkan mitra dalam pemasok yang menggabungkan rekayasa keramik canggih dengan kontrol proses yang luas dan dukungan teknis yang responsif dengan bekerja bersama sejak awal. Kami belajar tentang lingkungan tungku spesifik Anda, persyaratan proses, dan tantangan integrasi sehingga kami dapat menawarkan kepada Anda solusi khusus meningkatkan hasil proses Anda serta uptime alat.

Tabung oksidasi semikorex sic memberikan kinerja termal terbaik dengan stabilitas kimia dan kekuatan mekanik. Ini menjadi jantung dari setiap sistem pemrosesan SIC suhu tinggi dengan menyediakan lingkungan termal yang seragam selama oksidasi dan anil bahan semikonduktor canggih. Bagi produsen yang membutuhkan komponen tungku untuk dapat diandalkan, bersih, dan tahan lama, Semicorex akan menjadi pilihan produk yang didukung oleh pengetahuan dan pengalaman serta standar memberikan yang terbaik dari yang terbaik.