Tabung Proses SiC

SiC Process Tube adalah reaktor berbentuk tabung dalam perlakuan panas untuk pemrosesan wafer. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Tabung proses Semicorex SiC (Silicon Carbide) adalah komponen khusus yang digunakan dalam proses perlakuan panas wafer, khususnya dalam aplikasi yang memerlukan suhu tinggi, atmosfer korosif, atau keduanya. Ini dirancang untuk menyediakan lingkungan yang protektif dan terkendali untuk wafer semikonduktor selama perlakuan panas atau pemrosesan termal.

Tabung proses dirancang dengan cermat untuk menciptakan ruang tertutup tempat wafer ditempatkan untuk perlakuan panas. Ini bertindak sebagai penghalang, mencegah kontak langsung wafer dengan lingkungan sekitar. Isolasi ini sangat penting untuk menjaga kemurnian atmosfer pemrosesan dan melindungi wafer dari kontaminasi.

Di dalam tabung proses SiC, perlakuan panas wafer berlangsung. Hal ini dapat mencakup berbagai proses seperti anil, oksidasi, difusi, dan perlakuan termal lainnya yang diperlukan untuk mengubah sifat bahan wafer. Sifat tabung, seperti konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap serangan bahan kimia, membantu memastikan distribusi suhu yang seragam dan perlindungan wafer.

Tabung proses SiC merupakan komponen penting dalam proses perlakuan panas wafer. Ketahanannya terhadap suhu tinggi, kelembaman kimia, dan kemampuannya untuk menciptakan lingkungan yang terkendali memastikan keberhasilan pelaksanaan langkah-langkah pemrosesan termal, sehingga menghasilkan produksi wafer semikonduktor berkualitas tinggi.