Tabung Proses SiC

SiC Process Tube adalah reaktor berbentuk tabung dalam perlakuan panas untuk pemrosesan wafer. Semicorex berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga bersaing, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Tabung proses Semicorex SiC (Silicon Carbide) adalah komponen khusus yang digunakan dalam proses perlakuan panas wafer, terutama dalam aplikasi yang memerlukan suhu tinggi, atmosfer korosif, atau keduanya. Ini dirancang untuk menyediakan lingkungan yang protektif dan terkendali untuk wafer semikonduktor selama perlakuan panas atau pemrosesan termal.

Tabung proses direkayasa dengan hati-hati untuk membuat ruang tertutup tempat wafer ditempatkan untuk perlakuan panas. Ini bertindak sebagai penghalang, mencegah kontak langsung wafer dengan lingkungan sekitarnya. Isolasi ini sangat penting untuk menjaga kemurnian atmosfer pemrosesan dan melindungi wafer dari kontaminasi.

Di dalam tabung proses SiC, perlakuan panas wafer berlangsung. Ini dapat mencakup berbagai proses seperti anil, oksidasi, difusi, dan perlakuan panas lainnya yang diperlukan untuk mengubah sifat bahan wafer. Sifat-sifat tabung, seperti konduktivitas termal yang tinggi dan ketahanan terhadap serangan kimia, membantu memastikan distribusi suhu yang seragam dan melindungi wafer.

Tabung proses SiC adalah komponen penting dalam proses perlakuan panas wafer. Ketahanan suhu tinggi, kelembaman kimia, dan kemampuan untuk menciptakan lingkungan yang terkendali memastikan keberhasilan pelaksanaan langkah-langkah pemrosesan termal, yang mengarah pada produksi wafer semikonduktor berkualitas tinggi.