Tabung semikorex sic adalah tabung tungku silikon karbida yang dirancang untuk proses suhu tinggi semikonduktor, dengan stabilitas termal yang sangat baik dan ketahanan korosi kimia. Memilih bahan baku semikorex tinggi, proses pembuatan presisi dan jaminan keandalan jangka panjang untuk memberikan dukungan yang kuat untuk proses manufaktur semikonduktor Anda.*
Tabung SIC Semicorex (tabung tungku SiC) adalah komponen premium yang banyak digunakan dalam industri semikonduktor karena stabilitas termal yang ideal, kekuatan mekanik dan ketahanan ekstrem terhadap bahan kimia agresif pada berbagai aplikasi. Tabung SIC Semicorex telah dirancang untuk bertahan dari kondisi paling keras yang terkait dengan pemrosesan suhu tinggi. Tabung SIC jelas merupakan bahan yang lebih disukai dan superior untuk tungku difusi, sistem LPCVD/PECVD dan di lingkungan yang digunakan untuk pertumbuhan epitaxial di mana kontaminasi material dan diferensial termal adalah pertimbangan utama.
Tabung SIC semikorex diproduksi dari serbuk SIC kemurnian ultra-tinggi yang menggunakan metodologi sintering canggih dan teknik kontrol proses yang menjaga kemurnian SiC. Hasilnya adalah bahwa tabung SIC memiliki konduktivitas termal yang optimal, karakteristik ekspansi termal rendah, dan memiliki bobot yang didistribusikan sepanjang tabung, secara efektif meminimalkan tegangan termal, bahkan ketika terpapar siklus termal yang cepat. Dengan demikian, memanfaatkan tabung SIC memberikan pertimbangan tinggi selama proses suhu tinggi kontinu (hingga 1600 ° C)-sehingga memastikan keseragaman dalam proses manufaktur semikonduktor, meningkatkan efisiensi keseluruhan pada skala yang konsisten.
Keuntungan utama SIC, adalah inert secara kimiawi. SIC sebenarnya tidak berpori (mematuhi penilaian ASTM-G654 GP-4) dan tidak tertandingi dalam hal gas korosif resistensi dan bahan kimia reaktif yang digunakan dalam pengembangan semikonduktor termasuk HCl, NH₃, SIH₄ dll. Ini juga dicatat bahwa tabung kuarsa akan terdegradasi dan deforsional dengan penggunaan waktu yang agresif dalam waktu yang agresif dalam waktu yang agresif. Stabilitas dan peningkatan waktu layanan sambil meminimalkan perlambatan throughput terkait dengan perubahan tabung dan penggantian. Manfaat utama untuk manufaktur semikonduktor jelas; Menggunakan tabung SIC dapat mengurangi total biaya kepemilikan kisaran hingga berminggu -minggu atau bahkan berbulan -bulan sambil mempertahankan keandalan karena berkaitan dengan proses industri.
Tabung SIC Semicorex hadir dalam banyak diameter, panjang, dan spesifikasi khusus untuk mengakomodasi berbagai desain tungku dan persyaratan pemrosesan. Permukaan bagian dalam dapat dipoles, yang meningkatkan kebersihan, mengurangi generasi partikel, dan merupakan detail penting dalam ruang semikonduktor yang sangat bersih. Penggunaan tabung SIC semikorex dapat membantu mengurangi risiko kontaminasi dan berkontribusi terhadap peningkatan hasil wafer dengan toleransi yang ketat dan peningkatan kualitas permukaan.
Keahlian semikorex sic mencakup pemrosesan silikon karbida silikon dengan fokus pada rekayasa yang tepat dan kontrol kualitas untuk memenuhi standar kualitas yang ketat dan menuntut dari industri semikonduktor. Tabung kami diuji dan divalidasi dengan inspeksi, yang sangat penting untuk memastikan kemurnian, kepadatan, dan kinerja dalam lingkungan termal yang paling ekstrem. Semicorex juga menyediakan dukungan teknis dan opsi desain khusus untuk membantu mengoptimalkan sistem tungku untuk aplikasi tertentu.
Apakah chip logika manufaktur, perangkat daya, atau optoelektronik, tabung SIC semikorex menghadirkan opsi yang andal dan tahan lama untuk pemrosesan suhu tinggi. Dengan memilih Semicorex Anda tidak hanya memastikan efisiensi tetapi proses jangka panjang yang stabil dan efisien untuk fabrikasi semikonduktor.