Semicorex menyediakan perahu wafer, tumpuan, dan pembawa wafer khusus untuk konfigurasi vertikal / kolom dan horizontal. Kami telah menjadi produsen dan pemasok film pelapis silikon karbida selama bertahun-tahun. Perahu Wafer SiC kami memiliki keunggulan harga yang bagus dan mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China.
Memperkenalkan Kapal Wafer SiC berkualitas tinggi kami, dirancang untuk memberikan solusi andal untuk pemrosesan wafer di berbagai industri. Alas keramik ini diproduksi menggunakan keramik dengan kemurnian tinggi, yang menawarkan ketahanan yang sangat baik terhadap kejutan termal, abrasi, dan korosi kimia, menjadikannya ideal untuk lingkungan pemrosesan wafer yang keras.
Perahu Wafer SiC kami juga sangat dapat disesuaikan, dan kami dapat bekerja sama dengan Anda untuk membuat tumpuan khusus untuk memenuhi spesifikasi unik Anda. Kami bangga dengan kemampuan kami untuk memberikan produk berkualitas tinggi dan andal yang memenuhi permintaan pelanggan kami. Perahu Wafer Keramik kami dibuat agar tahan lama dan menawarkan masa pakai yang lama, memastikan bahwa Anda mendapatkan nilai maksimal dari investasi Anda.
Pesan sekarang dan rasakan manfaat Kapal Wafer SiC kami yang berkualitas tinggi dalam operasi pemrosesan wafer Anda.
Parameter SiC Wafer Boat
Properti Teknis |
||||
Indeks |
Satuan |
Nilai |
||
nama material |
Reaksi Sinter Silikon Karbida |
Karbida Silikon Sintered Tanpa Tekanan |
Karbida Silikon Rekristalisasi |
|
Komposisi |
RBSiC |
SSIC |
R-SiC |
|
Kepadatan Massal |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Kekuatan Lentur |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Kekuatan Kompresif |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Kekerasan |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Mematahkan Kegigihan |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Konduktivitas termal |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koefisien Ekspansi Termal |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Panas Spesifik |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Suhu maksimum di udara |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulus elastis |
IPK |
360 |
410 |
240 |
Fitur SiC Wafer Boat
- Pelapis CVD Silicon Carbide untuk meningkatkan masa pakai.
- Isolasi termal yang terbuat dari karbon kaku murni berperforma tinggi.
- Memiliki konduktivitas termal yang tinggi, dan sifat distribusi panas yang sangat baik.
- Lapisan keramik dan SiC dengan kemurnian tinggi untuk ketahanan lubang jarum dan masa pakai yang lebih lama