Perahu Wafer SiC

Semicorex SiC Wafer Boat, dibuat dari keramik Silicon Carbide (SiC), memimpin dalam memenuhi permintaan industri semikonduktor dengan memberikan kinerja tak tertandingi di lingkungan bersuhu tinggi. Ketika industri semikonduktor tanpa henti mendorong batas-batas fabrikasi mikro, permintaan akan material yang tangguh dan kuat menjadi hal yang sangat penting.

Perahu Wafer SiC memainkan peran penting dalam menampung dan mendukung banyak wafer selama proses termal seperti difusi, oksidasi, dan pengendapan uap kimia (CVD). Proses ini melibatkan pemaparan wafer pada suhu yang sangat tinggi, seringkali melebihi 1000°C, dalam atmosfer yang terkendali. Keseragaman dan konsistensi perlakuan termal ini sangat penting untuk memastikan kualitas dan kinerja perangkat semikonduktor yang diproduksi. Kemampuan Perahu Wafer SiC untuk menahan suhu tinggi tanpa deformasi atau degradasi memastikan bahwa wafer diproses secara seragam, sehingga menghasilkan hasil dan kinerja perangkat yang unggul.

Konduktivitas termal yang luar biasa dari kapal wafer SiC menjamin distribusi panas yang merata di seluruh wafer, meminimalkan risiko gradien suhu yang dapat menyebabkan kerusakan pada perangkat semikonduktor. Selain itu, koefisien ekspansi termal (CTE) SiC yang rendah menghasilkan ekspansi dan kontraksi termal yang minimal selama siklus pemanasan dan pendinginan. Stabilitas ini sangat penting untuk mencegah tekanan mekanis dan potensi kerusakan pada wafer, terutama dengan penyusutan geometri perangkat.

Selama proses termal, wafer terkena berbagai gas reaktif yang dapat berinteraksi dengan bahan kapal wafer SiC. Ketahanan kimia SiC yang sangat baik memastikan bahwa SiC tidak bereaksi dengan gas-gas ini, mencegah kontaminasi dan memastikan kemurnian wafer. Hal ini sangat penting dalam produksi perangkat semikonduktor canggih, di mana kontaminasi dalam jumlah kecil sekalipun dapat menyebabkan cacat dan mengurangi keandalan perangkat.