Penerima Wafer SiC untuk MOCVD

Susceptors Wafer Semicorex SiC untuk MOCVD adalah teladan presisi dan inovasi, yang dibuat khusus untuk memfasilitasi pengendapan epitaksi bahan semikonduktor ke wafer. Sifat material pelat yang unggul memungkinkan pelat tahan terhadap kondisi pertumbuhan epitaksi yang ketat, termasuk suhu tinggi dan lingkungan korosif, menjadikannya sangat diperlukan untuk pembuatan semikonduktor berpresisi tinggi. Kami di Semicorex berdedikasi untuk memproduksi dan memasok SiC Wafer Susceptors berkinerja tinggi untuk MOCVD yang memadukan kualitas dengan efisiensi biaya.

mengirimkan permintaan

Deskripsi Produk

Kombinasi stabilitas termal, ketahanan kimia, dan ketahanan mekanis memastikan Semicorex SiC Wafer Susceptors untuk MOCVD memiliki masa operasional yang panjang, bahkan dalam kondisi pemrosesan yang sulit：

1. Susceptor Wafer SiC untuk MOCVD ini dirancang untuk tahan terhadap suhu yang sangat tinggi, seringkali melebihi 1500°C, tanpa degradasi. Ketahanan ini sangat penting untuk proses yang memerlukan paparan jangka panjang terhadap lingkungan dengan suhu tinggi. Sifat termal yang unggul meminimalkan gradien termal dan tekanan di dalam suseptor, sehingga mengurangi risiko lengkungan atau deformasi pada suhu pemrosesan yang ekstrem.

2. Lapisan SiC pada Susceptors Wafer SiC untuk MOCVD memberikan ketahanan luar biasa terhadap bahan kimia korosif yang digunakan dalam proses CVD, seperti gas berbasis halogen. Kelambanan ini memastikan bahwa pembawa tidak bereaksi dengan gas proses, sehingga menjaga integritas dan kemurnian film yang diendapkan.

3. Konstruksi kokoh dari Susceptors Wafer SiC untuk MOCVD ini memastikan bahwa mereka dapat menahan tekanan mekanis dalam penanganan dan pemrosesan tanpa menghasilkan partikel yang dapat mengkontaminasi wafer. Keseragaman permukaan susceptor mendorong kondisi pemrosesan yang dapat direproduksi, yang penting untuk menghasilkan perangkat semikonduktor dengan kinerja dan keandalan yang konsisten.

Deskripsi yang diperluas ini menyoroti keunggulan profesional dan teknis SiC Wafer Susceptors untuk MOCVD dalam proses CVD semikonduktor, menekankan sifat dan manfaat uniknya dalam menjaga standar kemurnian, kinerja, dan efisiensi yang tinggi dalam proses manufaktur.