Perahu silikon karbida

Kapal karbida silikon semikorex menunjukkan stabilitas termal yang luar biasa, memungkinkan mereka untuk menahan suhu ekstrem yang diperlukan untuk proses oksidasi dan difusi. Resistensi kejut termal yang sangat baik meminimalkan risiko retak atau deformasi, memastikan umur panjang operasional yang berkepanjangan. Komposisi SIC dengan kepadatan tinggi memberikan kekuatan mekanik yang unggul, mempertahankan integritas struktural bahkan di bawah siklus termal kontinu. Resistensi luar biasa terhadap stres mekanis ini mengurangi kemungkinan kontaminasi dan kerusakan wafer, berkontribusi pada hasil proses yang lebih tinggi. Selain itu, kapal SIC memiliki ketahanan kimia yang luar biasa, tetap lembam terhadap gas proses agresif yang digunakan dalam langkah oksidasi dan difusi. Karakteristik ini mencegah reaksi yang tidak diinginkan yang dapat membahayakan kemurnian wafer dan efisiensi produksi.

Perahu silikon karbida terutama digunakan dalam oksidasi dan tungku difusi, di mana kontrol yang tepat atas paparan wafer terhadap suhu tinggi dan gas reaktif sangat penting. Mereka mendukung wafer selama oksidasi termal untuk menumbuhkan lapisan silikon dioksida berkualitas tinggi dan memfasilitasi doping seragam melalui paparan terkontrol terhadap gas dopan. Selain itu, mereka menyediakan platform yang stabil untuk anil dan perawatan suhu tinggi lainnya yang membutuhkan paparan panas yang berkepanjangan.

Dibandingkan dengan perahu kuarsa dan grafit tradisional, kapal silikon karbida menawarkan daya tahan, umur panjang, dan kinerja yang tak tertandingi. Kemampuan mereka untuk menahan lingkungan termal dan kimia yang keras sambil meminimalkan kontaminasi menjadikannya pilihan yang disukai untuk manufaktur semikonduktor presisi tinggi. Dengan fokus pada kualitas dan inovasi, kapal silikon karbida kami memberikan kinerja yang unggul, memastikan hasil tinggi dan pemrosesan wafer yang efisien untuk produsen semikonduktor di seluruh dunia. Baik untuk teknologi node canggih atau fabrikasi semikonduktor lama, kapal -kapal ini memberikan solusi yang dapat diandalkan untuk memenuhi persyaratan industri yang ketat.

(1) Membawa dan Perlindungan: Kapal silikon karbida membawa bahan semikonduktor seperti wafer melalui kurung atau slot internal, dan menggunakan suhu tinggi dan ketahanan korosi bahan silikon karbida untuk melindungi wafer dari lingkungan eksternal.

(2) Pemanasan Seragam: Perahu silikon karbida memungkinkan wafer di dalamnya dipanaskan secara merata selama proses perlakuan panas. Ini membantu memastikan bahwa suhu dan laju reaksi setiap bagian wafer tetap konsisten selama proses perlakuan panas, sehingga meningkatkan hasil dan kualitas wafer.

Saat ini ada tiga jenis utamaKeramik silikon karbidaBahan: Sintering reaksi, sintering tanpa tekanan, dan rekristalisasi sintering. Dalam sebagian besar aplikasi, reaksi sintered silikon karbida adalah produk yang lebih cocok dan hemat biaya. Kapal SIC yang direkristalisasi biasanya sinter dan memproses beberapa unit bagian terlebih dahulu, kemudian menggunakan pasta SI untuk menggabungkan bagian-bagian menjadi perahu pada suhu tinggi, dan akhirnya menerapkan lapisan CVD-SIC (sekitar 100um). Karena rekristalisasi berpori, jika tidak ada lapisan sic, itu juga akan memperkenalkan sebagian ke dalam proses semikonduktor. Jenis kapal SiC yang direkristalisasi dengan lapisan CVD-SIC ini memiliki proses pembuatan terpanjang dan sangat mahal. Dibandingkan dengan perahu grafit yang dilapisi SiC, perahu SIC yang dilapisi CVD-SIC tidak memiliki masalah ketidakcocokan CTE.