Perahu Kaset Silikon Karbida

Semicorexperahu kaset silikon karbidaadalah komponen pembawa yang sangat diperlukan, dengan strukturnya yang stabil dan berkekuatan tinggi, menahan, mentransfer, dan menangani beberapa wafer semikonduktor dengan aman dan tepat. Mereka banyak digunakan dalam berbagai proses semikonduktor suhu tinggi untuk memastikan distribusi aliran panas dan gas yang optimal untuk hasil pemrosesan yang konsisten.

Bahan baku yang dipilih dengan cermat

Dibuat secara tepat dari bubuk silikon karbida tingkat semikonduktor melalui sintering suhu tinggi, perahu kaset silikon karbida Semicorex memiliki sifat luar biasa berikut.

1. Kemurnian ultra-tinggi:Kandungan pengotor substrat dikontrol di bawah 100 PPM, dan tingkat pengotorsilikon karbida CVDpelapisan bisa mencapai kurang dari 1 PPM.

2. Ketahanan korosi yang andal:Keramik silikon karbida memberikan ketahanan korosi yang kuat, dan tahan terhadap korosi dari sebagian besar asam (seperti asam klorida, asam sulfat, dan asam fluorida), alkali (seperti soda kaustik), pelarut, dan media pengoksidasi.

3. Kapasitas manajemen termal yang luar biasa:Dengan ketahanan termal yang luar biasa dan koefisien muai panas yang rendah, perahu kaset silikon karbida dapat mempertahankan sifat kimia dan kekuatan mekaniknya bahkan ketika terkena kondisi pengoperasian yang berkepanjangan pada suhu tinggi sekitar 1250 °C.

Struktur yang dirancang dengan presisi

1. Struktur rangka horizontal:Struktur rangka horizontal perahu kaset silikon karbida Semicorex membuatnya sangat cocok dengan tabung tungku suhu tinggi horizontal.

2. Takik slot dengan jarak yang sama:Menampilkan banyak takik slot dengan jarak yang sama, perahu kaset silikon karbida Semicorex dapat menahan wafer dengan kuat di tempatnya, yang secara signifikan dapat mencegah goresan, lecet, dan kerusakan yang tidak diinginkan akibat perpindahan wafer, sehingga secara efektif memastikan stabilitas proses semikonduktor dan hasil wafer.

3. Desain multi-slot:Beberapa slot yang dirancang untuk membawa banyak wafer memungkinkan perahu kaset silikon karbida Semicorex meningkatkan hasil pemrosesan batch tunggal dan efisiensi produksi secara keseluruhan.

4. Arsitektur terbuka:Perahu kaset silikon karbida Semicorex dilengkapi dengan arsitektur terbuka yang bijaksana, yang dapat membantu mencapai distribusi gas yang seragam dan kontak reaksi yang memadai, sehingga secara efektif meminimalkan hasil proses yang tidak konsisten.